[發明專利]加速度檢波器中間可動電極

無效

• 申請號: 200910017217.2
• 申請日: 2009-07-11
• 公開（公告）號: CN101604027A
• 公開（公告）日: 2009-12-16
• 發明（設計）人: 唐曉剛;楊仲華;劉靜
• 申請（專利權）人: 威海雙豐物探設備股份有限公司
• 主分類號: G01V1/18
• 分類號: G01V1/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及加速度檢波器，具體說是一種加速度檢波器中間可動電極。

背景技術

我們知道，現有加速度檢波器中間可動電極，設有正六邊形質量塊，質量塊上設有排氣孔，邊框上設有排氣槽，質量塊表面設有金屬極板，質量塊上均布單層三臂支撐梁，支撐梁與邊框內側相連接。這種加速度檢波器中間可動電極，由于支撐梁為單層結構，質量塊質量小，靈敏度低，動態范圍小，振動不穩定，波形失真大。

發明內容

本發明解決的技術問題是，解決靈敏度低，動態范圍小，振動不穩定，波形失真大的問題，提供一種靈敏度高，動態范圍大，振動穩定，波形失真小的加速度檢波器中間可動電極。

本發明的技術方案是，設有正六邊形質量塊，質量塊上設有排氣孔，邊框上設有排氣槽，質量塊表面設有金屬極板，質量塊上均布單層三臂支撐梁，支撐梁與邊框內側相連接，主要結構特點是，與邊框、質量塊、支撐梁相對應平行設有下邊框、下質量塊、下支撐梁，邊框與下邊框貼合成整體，為整體邊框，質量塊與下質量塊貼合成整體，為整體質量塊，形成雙層支撐梁。

本發明支撐梁和下支撐梁并列對齊。

本發明支撐梁和下支撐梁交錯60°。

本發明支撐梁和下支撐梁反向均布陣列。

本發明支撐梁和下支撐梁分別與質量塊和下質量塊平行向內彎曲120°。

本發明的有益效果是，由于與邊框、質量塊、支撐梁相對應平行設有下邊框、下質量塊、下支撐梁，邊框與下邊框貼合成整體，為整體邊框，質量塊與下質量塊貼合成整體，為整體質量塊，形成雙層支撐梁，整體質量塊質量大，雙層支撐梁支撐穩定，靈敏度高，動態范圍大，振動穩定，波形失真小。本發明適用于加速度檢波器。

附圖說明

圖1、圖2是本發明的一種結構示意圖，也是一種實施例的示意圖，圖1是主視圖，圖2是圖1的A-A剖視圖；

圖3、圖4、圖5、圖6是本發明的又一種結構示意圖，也是一種實施例的示意圖，圖3是主視圖，圖4是圖3的B-B剖視圖，圖5是圖4的C-C剖視圖，圖6是圖5的D-D剖視圖；

圖7、圖8、圖9、圖10是本發明的又一種結構示意圖，也是一種實施例的示意圖，圖7是主視圖，圖8為圖7的E-E剖視圖，圖9為圖8的F-F剖視圖，圖10是圖9的G-G剖視圖；

實施方式

實施例1：

如圖1、圖2所示的加速度檢波器中間可動電極，設有正六邊形質量塊1，質量塊1上設有排氣孔4，邊框3上設有排氣槽5，保證質量塊振動時有合適的阻尼，有利于降低噪聲、提高檢波器性能。質量塊1表面設有金屬極板6，質量塊1上均布單層三臂支撐梁2，支撐梁2與邊框3內側相連接。與邊框3、質量塊1、支撐梁2相對應平行設有下邊框9、下質量塊8、下支撐梁7，邊框3與下邊框9貼合成整體，為整體邊框，質量塊1與下質量塊8貼合成整體，為整體質量塊，形成雙層支撐梁，整體質量塊質量大，雙層支撐梁支撐穩定，靈敏度高，動態范圍大，振動穩定，波形失真小。支撐梁2和下支撐梁7并列對齊，支撐梁2和下支撐梁7分別與質量塊1和下質量塊8平行向內彎曲120°，應力不容易集中，有效保證支撐梁2和下支撐梁7的強度。

實施例2：

如圖3、圖4、圖5、圖6所示的加速度檢波器中間可動電極，設有正六邊形質量塊1，質量塊1上設有排氣孔4，邊框3上設有排氣槽5，保證質量塊振動時有合適的阻尼，有利于降低噪聲、提高檢波器性能。質量塊1表面設有金屬極板6，質量塊1上均布單層三臂支撐梁2，支撐梁2與邊框3內側相連接。與邊框3、質量塊1、支撐梁2相對應平行設有下邊框9、下質量塊8、下支撐梁7，邊框3與下邊框9貼合成整體，為整體邊框，質量塊1與下質量塊8貼合成整體，為整體質量塊，形成雙層支撐梁，整體質量塊質量大，雙層支撐梁支撐穩定，靈敏度高，動態范圍大，振動穩定，波形失真小。支撐梁2和下支撐梁7交錯60°，支撐梁2和下支撐梁7分別與質量塊1和下質量塊8平行向內彎曲120°，應力不容易集中，有效保證支撐梁2和下支撐梁7的強度。

實施例3：

如圖7、圖8、圖9、圖10所示的加速度檢波器中間可動電極，設有正六邊形質量塊1，質量塊1設有排氣孔4，邊框3上設有排氣槽5，保證質量塊振動時有合適的阻尼，有利于降低噪聲、提高檢波器性能。質量塊1表面設有金屬極板6，質量塊1上均布單層三臂支撐梁2，支撐梁2與邊框3內側相連接。與邊框3、質量塊1、支撐梁2相對應平行設有下邊框9、下質量塊8、下支撐梁7，邊框3與下邊框9貼合成整體，為整體邊框，質量塊1與下質量塊8貼合成整體，為整體質量塊，形成雙層支撐梁，，整體質量塊質量大，雙層支撐梁支撐穩定，靈敏度高，動態范圍大，振動穩定，波形失真小。支撐梁2與下支撐梁7反向均布陣列，支撐梁2和下支撐梁7分別與質量塊1和下質量塊8平行向內彎曲120°，應力不容易集中，有效保證支撐梁2和下支撐梁7的強度。