[發明專利]電容式加速度檢波器中間可動電極

無效

• 申請號: 200910016675.4
• 申請日: 2009-06-26
• 公開（公告）號: CN101598801A
• 公開（公告）日: 2009-12-09
• 發明（設計）人: 楊仲華;唐曉剛;張麗霞;牛德芳
• 申請（專利權）人: 威海雙豐電子集團有限公司
• 主分類號: G01V1/18
• 分類號: G01V1/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及電容式加速度檢波器，具體說是一種電容式加速度檢波器中間可動電極。

背景技術

我們知道，現有的電容式加速度檢波器中間可動電極，如美國專利局1997年7月29日公布的專利號為5652384，名稱為L形支撐梁結構的傳感器，中間可動電極設有質量塊，質量塊四個側邊上下對應設有L形支撐梁，上下兩層八條L形支撐梁連接邊框內側中部，質量塊上設有金屬極板。這種電容式加速度檢波器中間可動電極，由于質量塊四個側邊上下對應設有L形支撐梁，L形支撐梁有90°拐角，制造工藝復雜，成本高，制作過程中容易形成應力集中，影響支撐梁的強度，容易造成變形斷裂，使電容量一致性差，噪聲大，性能不穩定，波形失真大，甚至毀壞檢波器。

發明內容

本發明解決的技術問題是，解決L形支撐梁制造工藝復雜，成本高，制作過程中容易形成應力集中，影響支撐梁的強度，容易造成變形斷裂，使電容量一致性差，噪聲大，性能不穩定，波形失真大，甚至毀壞檢波器的問題，提供一種制造工藝簡單，成本低，制作過程中不容易形成應力集中，不容易造成變形斷裂，電容量一致性好，噪聲小，性能穩定，波形失真小的電容式加速度檢波器中間可動電極。

本發明的技術方案是，設有質量塊，質量塊上均布支撐梁，支撐梁連接邊框內側，質量塊上設有金屬極板，主要結構特點是，支撐梁為直形支撐梁。

本發明支撐梁位于質量塊邊角，垂直于質量塊與邊框。

本發明支撐梁位于質量塊側邊中間，垂直于質量塊與邊框。

本發明支撐梁位于質量塊尖角與邊框內角上。

本發明支撐梁位于質量塊邊角，平行于質量塊側邊和邊框。

本發明支撐梁為單層支撐梁。

本發明與邊框、質量塊、支撐梁相對應平行設有下邊框、下質量塊、下支撐梁，邊框與下邊框貼合成整體，為整體邊框，質量塊與下質量塊貼合成整體，為整體質量塊，支撐梁和下支撐梁形成雙層支撐梁。

本發明支撐梁和下支撐梁并列對齊。

本發明支撐梁和下支撐梁交錯分布。

本發明的有益效果是，由于支撐梁為直形支撐梁，制造工藝簡單，成本低，制作過程中不容易形成應力集中，不容易造成變形斷裂，電容量一致性好，噪聲小，性能穩定，波形失真小。本發明適用于電容式加速度檢波器。

附圖說明

圖1、圖2是本發明的一種結構示意圖，也是一種實施例的示意圖，圖1是主視圖，圖2是圖1的A-A剖視圖；

圖3、圖4是本發明的又一種結構示意圖，也是一種實施例的示意圖，圖3是主視圖，圖4是圖3的B-B剖視圖；

圖5、圖6是本發明的又一種結構示意圖，也是一種實施例的示意圖，圖5是主視圖，圖6為圖5的C-C剖視圖；

圖7、圖8是本發明的又一種結構示意圖，也是一種實施例的示意圖，圖7是主視圖，圖8為圖7的D-D剖視圖；

圖9、圖10是本發明的又一種結構示意圖，也是一種實施例的示意圖，圖9是主視圖，圖10為圖9的E-E剖視圖；

圖11、圖12是本發明的又一種結構示意圖，也是一種實施例的示意圖，圖11是主視圖，圖12為圖11的F-F剖視圖；

圖13、圖14是本發明的又一種結構示意圖，也是一種實施例的示意圖，圖13是主視圖，圖14為圖13的G-G剖視圖；

圖15、圖16是本發明的又一種結構示意圖，也是一種實施例的示意圖，圖15是主視圖，圖16為圖15的H-H剖視圖；

圖17、圖18、圖19、圖20是本發明的又一種結構示意圖，也是一種實施例的示意圖，圖17是主視圖，圖18是圖17的J-J剖視圖，圖19是圖18的K-K剖視圖，圖20為圖17的I-I剖視圖；

實施方式

實施例1：

如圖1、圖2所示的電容式加速度檢波器中間可動電極，設有質量塊1，質量塊1上均布支撐梁2，支撐梁2連接邊框3內側，質量塊1上設有金屬極板4，支撐梁2為直形支撐梁，支撐梁2位于質量塊1邊角，垂直于質量塊1與邊框3，制造工藝簡單，成本低，制作過程中不容易形成應力集中，不容易造成變形斷裂，電容量一致性好，噪聲小，性能穩定，波形失真小。

實施例2：