[發明專利]一種用于單面處理的夾持與保護裝置

有效

• 申請號: 200910011158.8
• 申請日: 2009-04-15
• 公開（公告）號: CN101866871A
• 公開（公告）日: 2010-10-20
• 發明（設計）人: 陳波;陳焱;谷德君
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 張志偉

1.一種用于單面處理的夾持與保護裝置，其特征在于：該裝置設有旋轉盤(11)和旋轉軸(21)，旋轉盤(11)位于裝置的上方，旋轉盤(11)的下方連著中空的旋轉軸(21)；旋轉盤(11)上表面的中央設有圓柱型的凹槽(12)，支撐架(13)位于旋轉盤(11)上表面的圓周邊緣，硅片或碟形物放置于支撐架(13)上，硅片或碟形物與旋轉盤(11)的邊緣之間存在空隙。

2.按照權利要求1所述的夾持與保護裝置，其特征在于：凹槽(12)的側壁上開有氣體噴嘴(14)，氣體噴嘴(14)的軸線方向與凹槽(12)內壁圓周相切。

3.按照權利要求2所述的夾持與保護裝置，其特征在于：旋轉盤(11)內沿徑向分布導氣管(17)，導氣管(17)一端與旋轉軸(21)中心的氣體管路(22)相連，導氣管(17)另一端與氣體噴嘴(14)相連。

4.按照權利要求1所述的夾持與保護裝置，其特征在于：氣體噴嘴(14)為3～60個，均布。