[發明專利]硅電容壓力傳感器提高過載能力的方法有效
| 申請號： | 200910010195.7 | 申請日： | 2009-01-21 |
| 公開（公告）號： | CN101476960A | 公開（公告）日： | 2009-07-08 |
| 發明（設計）人： | 張治國;李穎;張娜;匡石;劉劍 | 申請（專利權）人： | 沈陽儀表科學研究院 |
| 主分類號： | G01L9/12 | 分類號： | G01L9/12;G01L1/14 |
| 代理公司： | 沈陽科威專利代理有限責任公司 | 代理人： | 崔紅梅 |
| 地址： | 110043遼寧*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電容 壓力傳感器 提高 過載 能力 方法 | ||
1.一種提高硅電容壓力傳感器過載能力的方法，采用陽極鍵合工藝將玻璃的上固定極板、硅中心極板和玻璃的下固定極板組裝而成，其特征在于玻璃的上、玻璃的下固定極板上均有限位點，通過位于兩固定極板中間的硅中心極板的可動電極實現過載限位；玻璃的上固定極板(1)、玻璃的下固定極板(3)相對內側腐蝕區預留出限位點(8)，可動電極(6)與限位點(8)端面之間有間隙(7)；在傳感器的量程工作范圍內，可動電極(6)不會碰到限位點(8)，當外加工作壓力超過正常量程后，可動電極(6)由于位移加大，會與限位點(8)接觸，此時存在于可動電極(6)和玻璃的上固定極板(1)、下固定極板(3)之間的兩個電容C1、電容C2發生相應的變化，通過外部電路檢測出兩電容的這種變化，實現對外加壓力的測量；如果外加壓力再增加，則可動電極(6)由于被限位點(8)抵住而不再移動，因限位點(8)的存在實現了對可動電極(6)的過載限位保護。
2.根據權利要求1所述的提高硅電容壓力傳感器過載能力的方法，其特征在于玻璃的上固定極板(1)和玻璃的下固定極板(3)結構相同；預留出的突出的限位點(8)勻布在電極孔(4)的圓周外，限位點(8)上端面與玻璃的上固定極板(1)和玻璃的下固定極板(3)表面處于同一平面。
3.根據權利要求2所述的提高硅電容壓力傳感器過載能力的方法，其特征在于玻璃的上固定極板(1)和玻璃的下固定極板(3)相對內側中心都有的間隙(7)為玻璃極板腐蝕后形成的槽，槽底有金屬電極(9)，槽的深度則根據傳感器的輸出靈敏度要求具體確定。
4.根據權利要求2所述的提高硅電容壓力傳感器過載能力的方法，其特征在于玻璃的上固定極板(1)和玻璃的下固定極板(3)的外表面中心有玻璃引出電極(5)，引出電極(5)中心有通透的電極孔(4)。
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