[發(fā)明專利]硅電容壓力傳感器提高過載能力的方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200910010195.7 | 申請日： | 2009-01-21 |
| 公開（公告）號： | CN101476960A | 公開（公告）日： | 2009-07-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張治國;李穎;張娜;匡石;劉劍 | 申請（專利權(quán)）人： | 沈陽儀表科學(xué)研究院 |
| 主分類號： | G01L9/12 | 分類號： | G01L9/12;G01L1/14 |
| 代理公司： | 沈陽科威專利代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 崔紅梅 |
| 地址： | 110043遼寧*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 電容 壓力傳感器 提高 過載 能力 方法 | ||
1.一種提高硅電容壓力傳感器過載能力的方法，采用陽極鍵合工藝將玻璃的上固定極板、硅中心極板和玻璃的下固定極板組裝而成，其特征在于玻璃的上、玻璃的下固定極板上均有限位點，通過位于兩固定極板中間的硅中心極板的可動電極實現(xiàn)過載限位；玻璃的上固定極板(1)、玻璃的下固定極板(3)相對內(nèi)側(cè)腐蝕區(qū)預(yù)留出限位點(8)，可動電極(6)與限位點(8)端面之間有間隙(7)；在傳感器的量程工作范圍內(nèi)，可動電極(6)不會碰到限位點(8)，當(dāng)外加工作壓力超過正常量程后，可動電極(6)由于位移加大，會與限位點(8)接觸，此時存在于可動電極(6)和玻璃的上固定極板(1)、下固定極板(3)之間的兩個電容C1、電容C2發(fā)生相應(yīng)的變化，通過外部電路檢測出兩電容的這種變化，實現(xiàn)對外加壓力的測量；如果外加壓力再增加，則可動電極(6)由于被限位點(8)抵住而不再移動，因限位點(8)的存在實現(xiàn)了對可動電極(6)的過載限位保護(hù)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高硅電容壓力傳感器過載能力的方法，其特征在于玻璃的上固定極板(1)和玻璃的下固定極板(3)結(jié)構(gòu)相同；預(yù)留出的突出的限位點(8)勻布在電極孔(4)的圓周外，限位點(8)上端面與玻璃的上固定極板(1)和玻璃的下固定極板(3)表面處于同一平面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的提高硅電容壓力傳感器過載能力的方法，其特征在于玻璃的上固定極板(1)和玻璃的下固定極板(3)相對內(nèi)側(cè)中心都有的間隙(7)為玻璃極板腐蝕后形成的槽，槽底有金屬電極(9)，槽的深度則根據(jù)傳感器的輸出靈敏度要求具體確定。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的提高硅電容壓力傳感器過載能力的方法，其特征在于玻璃的上固定極板(1)和玻璃的下固定極板(3)的外表面中心有玻璃引出電極(5)，引出電極(5)中心有通透的電極孔(4)。
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