[發明專利]翻轉式晶圓自動傳輸裝置

有效

• 申請號: 200910010033.3
• 申請日: 2009-01-09
• 公開（公告）號: CN101459101A
• 公開（公告）日: 2009-06-17
• 發明（設計）人: 吳功
• 申請（專利權）人: 富創得科技（沈陽）有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 沈陽科威專利代理有限責任公司
• 代理人: 刁佩德

1.一種翻轉式晶圓自動傳輸裝置，包括機架，固定在機架上的上料平臺，組裝在機架上作升降移動的帶有扣爪機構的風箱體和作升降、伸展移動的帶有抓取機構的手臂機構，其特征在于：所述手臂機構的下手臂通過翻轉機構連接所述抓取機構，即所述手臂機構的下手臂與所述翻轉機構的翻轉基座鉸接在一起，所述抓取機構的固定板通過翻轉軸鉸接在所述翻轉基座上，并利用組裝在翻轉基座上的齒輪連桿傳動機構驅動所述翻轉軸轉動，帶動所述抓取機構固定板繞軸線轉動，設置在所述抓取機構的抓取電機通過渦輪蝸桿驅動抓取連桿帶動夾爪沿所述抓取機構固定板的抓取滑軌往復移動，所述抓取機構上的定位機構設置有可調定位塊。

2.根據權利要求1所述的翻轉式晶圓自動傳輸裝置，其特征在于：鉸接在所述翻轉基座上的翻轉軸固定在所述抓取機構固定板的兩側，所述翻轉軸伸出翻轉基座軸孔端與所述齒輪連桿傳動機構中的翻轉連桿端固定連接。

3.根據權利要求1或2所述的翻轉式晶圓自動傳輸裝置，其特征在于：所述齒輪連桿傳動機構中的一對相嚙合的小齒輪和大齒輪組裝在所述翻轉基座上，所述小齒輪組裝在所述翻轉基座的電機軸上，所述大齒輪側面通過銷軸鉸接傳動連桿的一端，傳動連桿的另一端與固定連接在所述翻轉軸端的翻轉連桿的另一端鉸接。

4.根據權利要求1所述的翻轉式晶圓自動傳輸裝置，其特征在于：驅動所述手臂機構作升降、伸展移動的手臂升降電機和手臂伸展電機分別固定在所述機架上和固定在沿機架的手臂升降單滑軌滑動的手臂升降基板上，所述手臂升降電機通過三號傳動帶和手臂升降螺桿驅動固定在手臂升降基板上的手臂升降螺母沿螺桿軸向往復移動，使手臂機構沿與機架的豎向作升降運動。

5.根據權利要求4所述的翻轉式晶圓自動傳輸裝置，其特征在于：所述手臂伸展電機通過減速機構、二號傳動帶驅動固定在上手臂上的手臂傳動軸轉動，手臂傳動軸帶動上手臂繞手臂固定軸擺動，通過手臂旋轉軸與上手臂鉸接的下手臂在上手臂內部傳動帶的帶動下繞上手臂擺動，通過手臂旋轉軸與下手臂鉸接的翻轉機構在下手臂內部傳動帶的帶動下繞下手臂擺動，使手臂機構沿與機架垂直方向作伸展運動。

6.根據權利要求1所述的翻轉式晶圓自動傳輸裝置，其特征在于：所述風箱體組裝在帶有風箱體升降螺母的風箱體固定座上，固定在機架上的風箱體升降電機和風箱體升降螺桿通過一號傳動帶驅動風箱體升降螺母沿螺桿軸向往復移動，帶動風箱體固定座沿機架的風箱體升降單滑軌上、下滑動。

7.根據權利要求1所述的翻轉式晶圓自動傳輸裝置，其特征在于：所述風箱體的扣爪機構的扣爪電機通過組裝其軸上的拉桿銷軸與扣爪拉桿一端鉸接，扣爪拉桿另一端與扣爪軸端的曲柄鉸接，扣爪軸另一端固定有扣爪，電機驅動扣爪軸上的曲柄繞軸線轉動，帶動扣爪開、合。