[發明專利]旋轉式晶圓自動傳輸裝置

有效

• 申請號: 200910010030.X
• 申請日: 2009-01-09
• 公開（公告）號: CN101465308A
• 公開（公告）日: 2009-06-24
• 發明（設計）人: 吳功
• 申請（專利權）人: 富創得科技（沈陽）有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 沈陽科威專利代理有限責任公司
• 代理人: 刁佩德

1.一種旋轉型晶圓自動輸送裝置，包括機架，固定在機架上的上料平臺，組裝在機架上作升降移動的帶有扣爪機構的風箱體和作升降、伸展移動的帶有抓取機構的手臂機構，其特征在于：所述手臂機構的抓取機構固定在下手臂旋轉軸上，所述下手臂旋轉軸固定在大帶輪上，所述大帶輪及通過旋轉傳動帶連接的步進電機驅動的小帶輪組裝在下手臂固定座內，所述抓取機構的固定板連接在所述下手臂旋轉軸上，并利用大、小帶輪組成的傳動機構驅動所述下手臂旋轉軸轉動，帶動所述抓取機構固定板繞軸線轉動，設置在所述抓取機構的抓取電機通過蝸輪蝸桿驅動抓取連桿帶動夾爪沿所述抓取機構固定板的抓取滑軌往復移動，所述抓取機構上的定位機構設置可調定位塊。

2.根據權利要求1所述的旋轉型晶圓自動傳輸裝置，其特征在于：驅動所述手臂機構作升降、伸展移動的手臂升降電機和手臂伸展電機分別固定在所述機架上和固定在沿機架的手臂升降單滑軌滑動的手臂升降基板上，所述手臂升降電機通過第三傳動帶和手臂升降螺桿驅動固定在手臂升降基板上的手臂升降螺母沿螺桿軸向往復移動，使手臂機構沿與機架的豎向作升降運動。

3.根據權利要求1或2所述的旋轉型晶圓自動傳輸裝置，其特征在于：所述手臂伸展電機通過減速機構、第二傳動帶驅動固定在上手臂上的手臂傳動軸轉動，所述手臂傳動軸帶動所述上手臂繞手臂固定軸擺動，通過上手臂旋轉軸與所述上手臂連接的下手臂在上手臂內部傳動帶的帶動下繞所述上手臂擺動，使手臂機構沿與機架垂直方向作伸展運動。

4.根據權利要求1所述的旋轉型晶圓自動傳輸裝置，其特征在于：所述風箱體組裝在帶有風箱體升降螺母的風箱體固定座上，固定在機架上的風箱體升降電機通過第一傳動帶和風箱體升降螺桿驅動風箱體升降螺母沿螺桿軸向往復移動，帶動風箱體固定座沿機架的風箱體升降單滑軌上、下滑動。

5.根據權利要求1所述的旋轉型晶圓自動傳輸裝置，其特征在于：所述風箱體的扣爪機構的扣爪電機通過組裝其軸上的拉桿銷軸與扣爪拉桿一端鉸接，扣爪拉桿另一端與扣爪軸端的曲柄鉸接，扣爪軸另一端固定有扣爪，電機驅動扣爪軸上的曲柄繞軸線轉動，帶動扣爪開、合。