[發明專利]可低溫固化的感光性樹脂組合物無效
| 申請號: | 200910008090.8 | 申請日: | 2009-03-03 |
| 公開(公告)號: | CN101526740A | 公開(公告)日: | 2009-09-09 |
| 發明(設計)人: | 樸镕一;趙顯一;安永載;樸正煥 | 申請(專利權)人: | 東進世美肯株式會社 |
| 主分類號: | G03F7/028 | 分類號: | G03F7/028;G03F7/032 |
| 代理公司: | 北京三友知識產權代理有限公司 | 代理人: | 丁香蘭 |
| 地址: | 韓國*** | 國省代碼: | 韓國;KR |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 低溫 固化 感光性 樹脂 組合 | ||
技術領域
本發明涉及可以在低溫下固化的用于平板顯示器的濾色器(colorfilter)的感光性樹脂組合物。
背景技術
濾色器基板的制造通常包括:利用Cr/CrOx形成黑底(black?matrix)、利用顏料分散法形成濾色器、以及形成共用電極。
與薄膜電晶體陣列(TFT-陣列(array))工序同樣地通過反應性濺射(reactive?sputtering)將Cr/CrOx蒸鍍在經清洗的玻璃基板上形成黑底圖案后,利用光學(photo)工程技術形成用于實現顏色的RGB圖案。通常,移動同一掩模形成RGB圖案,由于利用曝光的光聚合反應達到一定程度時會停止,因此為了持續進行利用熱的聚合反應,另行實施后烘焙(post-bake),顯影時利用浸漬(dipping)、浸置(puddle)、淋浴(shower)、噴霧(spray)法等。形成RGB圖案后進行共用電極的形成,共用電極用于使液晶盒(cell)與形成于下部的TFT基板的像素電極(pixel?electrode)共同動作,通過濺射來蒸鍍ITO(ITO是透明性和導電性良好、化學穩定性和熱穩定性優異的透明電極材料),作為共用電極的ITO不另外形成圖案。出于RGB圖案的保護和平坦化,有時也在形成共用電極前使用丙烯酸系樹脂、聚酰亞胺系樹脂來形成平坦化膜(over?coat)。
在濾色器工序中,RGB圖案的情況下,主要利用旋轉涂布、狹縫涂布(slit?coater)來進行涂布,預烘焙(pre-bake)后進行曝光、顯影。顯影后,最后進行施加220℃以上的熱的后烘焙工序,通常使用的玻璃在該溫度下幾乎不會變形,而用于柔性(flexible)顯示器的塑料在220℃以上的溫度會出現嚴重的變形。
其結果,為了減少基板的變形而不得不降低后烘焙工序的溫度,而如果降低后烘焙的溫度,就不會完全固化,氣體產生量會增加,從而不僅出現殘像,還會引起耐化學性和耐熱性變差等問題。
下述專利文獻1中公開了一種感光性樹脂組合物,其由于含有經酸酐處理的環氧化物而具有優異的耐熱性和耐化學性。但是,即使是含有經酸酐處理的環氧化物的所述感光性樹脂組合物,在200℃以下的低溫下進行后烘焙工序時,由于耐化學性和耐熱性達不到標準、氣體產生量增加,因而殘像出現的問題仍然存在。
專利文獻1:大韓民國專利公開第2002-0048675號
發明內容
因此,本發明的目的在于提供一種適于形成平板顯示器的濾色器的感光性樹脂組合物,其在低溫下也能夠完全固化,能夠制成不僅氣體產生量少且具有優異的耐熱性和耐化學性的固化膜。
為了實現上述目的,本發明提供一種感光性樹脂組合物,其含有:
(A)作為粘結劑用樹脂的(i)環氧樹脂和(ii)堿溶性樹脂,所述堿溶性樹脂是選自丙烯酸酯樹脂、光聚合物樹脂和這些樹脂的混合物之中的一種以上的樹脂;
(B)環氧固化劑;
(C)具有烯類雙鍵的交聯性單體;
(D)顏料;
(E)光聚合引發劑;和
(F)溶劑。
使用本發明的感光性樹脂組合物,利用200℃以下的低溫固化工序也能夠得到氣體產生量少、耐熱性和耐化學性優異的具有可靠性的固化膜。并且,通過利用所述感光性樹脂組合物,能夠在堿性水溶液中顯影,能夠得到靈敏度和分辨率優異、具有良好形狀的固化膜圖案,能夠在工業上有效地提供可靠性高的濾色器和含有該濾色器的平板顯示器。
附圖說明
圖1是顯示在實驗例中將由實施例1和比較例1制造的感光性樹脂組合物得到的固化膜浸漬在NMP溶液中后溶出的物質的吸光度的測定結果的圖。
具體實施方式
本發明的感光性樹脂組合物的特征在于,由于含有堿溶性的丙烯酸酯樹脂或光聚合物樹脂、以及環氧樹脂和環氧固化劑,提高了利用熱的固化度。因此,本發明的感光性樹脂組合物即使通過低溫的固化工序也能夠提供具有優異的耐熱性和耐化學性的固化膜,并且該固化膜的物性與經高溫的固化工序得到的固化膜的物性沒有差異。
本發明的感光性樹脂組合物中,所述環氧樹脂(成分(A)(i))發揮出提高感光性樹脂組合物的固化度的作用,根據固化劑種類的不同,可提供不僅能夠在低溫固化還能縮短固化時間等多種特性。并且,與其他的樹脂相比,其固化收縮少,耐化學性和耐熱性等也優異。
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