[發明專利]液體噴射頭的制造方法以及液體噴射裝置

無效

• 申請號: 200910006515.1
• 申請日: 2009-01-21
• 公開（公告）號: CN101491973A
• 公開（公告）日: 2009-07-29
• 發明（設計）人: 池田博紀
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: B41J2/16
• 分類號: B41J2/16;B41J2/14
• 代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 柳春雷;南 霆

技術領域

本發明涉及從噴嘴噴射液滴的液體噴射頭的制造方法以及液體噴射裝置，特別涉及噴射作為液滴的墨滴的噴墨式記錄頭的制造方法以及噴墨式記錄裝置。

背景技術

作為噴出液滴的液體噴射頭的代表例，可以列舉出噴射墨滴的噴墨式記錄頭。該噴墨式記錄頭例如包括：噴嘴板，在該噴嘴板上貫穿設置有噴嘴；流路形成襯底，形成有與噴嘴連通的多個壓力產生室和與所述多個壓力產生室連通并構成儲存器的一部分的連通部；作為壓力產生單元的壓電元件，形成在該流路形成襯底的一個面側；儲存器形成襯底(保護襯底)，與流路形成襯底接合，并具有與連通部一起構成儲存器的儲存部；以及柔性襯底，與儲存器形成襯底接合并密封儲存器的一個開口(例如，參照日本專利文獻特開2006-218716號公報)。

在這樣構成的噴墨式記錄頭中，通過粘接劑將噴嘴板和柔性襯底粘接到流路形成襯底或儲存器形成襯底等上。專利文獻1沒有明確地公開粘接方法，但是一般來說是在將柔性襯底粘接到儲存器形成襯底等上后，再通過粘接劑將噴嘴板粘接到流路形成襯底上。

如果在以這樣的順序粘接柔性襯底后，再將噴嘴板粘接到流路形成襯底上，則在該過程中流路形成襯底的表面會附著異物，而該異物會夾持在噴嘴板與流路形成襯底之間，由此可能產生粘接不良。另外，噴嘴板的表面還可能形成被稱為所謂“凸打痕”的突起部。

一旦產生噴嘴板與流路形成襯底的粘接不良，則由于兩者之間產生的空間，會導致相鄰的壓力產生室彼此接連在一起，從而可能對墨滴的噴射特性帶來不良影響。另一方面，一旦噴嘴板的表面形成了突起部，則例如在噴嘴板面上將噴墨式記錄頭定位、固定到預定位置的情況下，有可能會產生粘接不良或頭的定位精度降低的問題。

另外，不但是在噴射墨滴的噴墨式記錄頭的制造方法中，當然在噴射墨滴以外的液滴的其他液體噴射頭的制造方法中也同樣存在這樣的問題。

發明內容

本發明是鑒于上述情況而完成的，其目的在于提供一種能夠防止異物夾持在噴嘴板與流路形成襯底之間的液體噴射頭的制造方法以及液體噴射裝置。

解決上述問題的本發明是一種液體噴射頭的制造方法，所述液體噴射頭包括：噴嘴板，在該噴嘴板上貫穿設置有噴射液滴的噴嘴；流路形成襯底，該噴嘴板與該流路形成襯底的一個面側接合，并形成有至少包括與所述噴嘴連通的多個壓力產生室的液體流路；壓力產生單元，向所述壓力產生室內施加壓力；以及柔性襯底，具有由能夠根據所述液體流路的壓力變化而變形的材料形成的可撓部；所述液體噴射頭的制造方法的特征在于，包括如下工序：流路形成工序，將所述液體流路形成在所述流路形成襯底上；第一粘接工序，在所述液體流路開口的所述流路形成襯底的一個面側涂布粘接劑形成第一粘接層，通過該第一粘接層粘接所述噴嘴板；以及第二粘接工序，在所述第一粘接工序之后實施，在所述流路形成襯底的另一個面側涂布粘接劑形成第二粘接層，通過該第二粘接層粘接所述柔性襯底。

在該本發明中，在將噴嘴板粘接到流路形成襯底上之后，實施粘接柔性襯底的工序。即，在流路形成襯底上形成液體流路之后，流路形成襯底附著異物之前粘接噴嘴板。由此，能夠將噴嘴板非常好地粘接到流路形成襯底上，并且也不會在噴嘴板的表面上形成突起部。

這里，例如，所述液體噴射頭還包括與所述流路形成襯底的另一個面側接合并具有儲存部的儲存器形成襯底，所述液體噴射頭的制造方法還包括在所述流路形成工序之前將所述儲存器形成襯底與所述流路形成襯底的另一個面側接合的接合工序，在所述第二粘接工序中，將所述柔性襯底粘接到與所述流路形成襯底的另一個面側接合的所述儲存器形成襯底上，密封所述儲存部的一個開口。即，也可以經由儲存器形成襯底將柔性襯底固定到流路形成襯底上。即使是在液體噴射頭具有儲存器形成襯底的情況下，也能夠良好地粘接流路形成襯底和噴嘴板。

優選的是，還包括硬化工序，即：在所述第一粘接工序中通過所述第一粘接層暫時固定所述噴嘴板，并且在所述第二粘接工序中通過所述第二粘接層暫時固定所述柔性襯底，在所述第二粘接工序之后使所述第一粘接層和所述第二粘接層硬化。由此能夠使第一和第二粘接層同時硬化，從而簡化制造工序。

優選的是，在所述硬化工序中，在將所述噴嘴板和所述柔性襯底向所述流路形成襯底按壓的狀態下使所述第一粘接層和所述第二粘接層硬化。由此，能夠使第一和第二粘接層良好地硬化，從而能夠可靠地固定噴嘴板與流路形成襯底和柔性襯底與流路形成襯底。