[發(fā)明專利]探測(cè)裝置和檢測(cè)方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910006019.6
• 申請(qǐng)日: 2009-01-22
• 公開（公告）號(hào): CN101498764A
• 公開（公告）日: 2009-08-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 矢野和哉;下山寬志;鈴木勝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01R31/28
• 分類號(hào): G01R31/28;G01B11/00
• 代理公司: 北京尚誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 龍 淳

1.一種探測(cè)裝置，在載置臺(tái)上載置被檢查基板、使探測(cè)卡的探測(cè)器與在該 被檢查基板上排列的被檢查芯片的電極墊接觸、進(jìn)行所述被檢查芯片的電氣檢 測(cè)，所述探測(cè)裝置的特征在于，包括：

第一工作臺(tái)，其沿X方向可自由移動(dòng)地設(shè)置在底座上；

第二工作臺(tái)，其沿Y方向可自由移動(dòng)地設(shè)置在該第一工作臺(tái)上；

第三工作臺(tái)，其沿Z方向可自由移動(dòng)地設(shè)置在該第二工作臺(tái)上，并具有所 述載置臺(tái)；

拍攝單元，其用于拍攝所述載置臺(tái)上的被檢查基板和所述探測(cè)器；

Z位置計(jì)測(cè)單元，其用于測(cè)得所述載置臺(tái)的Z方向的位置，并具有設(shè)置于 所述第二工作臺(tái)和第三工作臺(tái)的一方并沿Z方向延伸的Z標(biāo)尺、和設(shè)置于所述 第二工作臺(tái)和第三工作臺(tái)的另一方并用于讀取所述Z標(biāo)尺的讀取部；

計(jì)算單元，其對(duì)于包括通過(guò)用于計(jì)測(cè)所述載置臺(tái)的X方向和Y方向的各位 置的單元測(cè)得的X方向和Y方向的各位置以及Z方向的位置的、在驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的 坐標(biāo)上被管理的坐標(biāo)位置，根據(jù)所述拍攝單元的拍攝結(jié)果，通過(guò)演算求得被處 理基板的電極墊與探測(cè)器接觸的計(jì)算上的接觸位置；以及

在所述被處理基板的電極墊與探針接觸的狀態(tài)下，當(dāng)使用所述Z位置計(jì)測(cè) 單元測(cè)得的所述載置臺(tái)的Z方向的位置從已預(yù)先設(shè)定的計(jì)算上的接觸位置變化 時(shí)，根據(jù)該變化量修正下次接觸時(shí)的接觸位置的Z方向的位置的單元。

2.如權(quán)利要求1所述的探測(cè)裝置，其特征在于：

在所述第三工作臺(tái)上具有加熱單元，其用于加熱在所述載置臺(tái)上載置的所 述被檢查基板。

3.如權(quán)利要求1或者2所述的探測(cè)裝置，其特征在于：

計(jì)測(cè)所述載置臺(tái)的X方向的位置的單元具有固定于所述底座的X方向的中 央部和所述第一工作臺(tái)的X方向的中央部的一方并沿X方向延伸的X標(biāo)尺，和 設(shè)置于所述底座和所述第一工作臺(tái)的另一方并用于讀取所述X標(biāo)尺的讀取部，

計(jì)測(cè)所述載置臺(tái)的Y方向的位置的單元具有固定于所述第一工作臺(tái)的Y方 向的中央部和所述第二工作臺(tái)的Y方向的中央部的一方并沿Y方向延伸的Y標(biāo) 尺、和設(shè)置于所述第一工作臺(tái)和所述第二工作臺(tái)的另一方并用于讀取所述Y標(biāo) 尺的讀取部。

4.一種探測(cè)方法，在載置臺(tái)上載置被檢查基板，并使探測(cè)卡的探測(cè)器與在 被檢查基板上排列的被檢查芯片的電極墊接觸，進(jìn)行被檢查芯片的電氣檢測(cè)， 所述探測(cè)方法特征在于，包括：

利用

第一工作臺(tái)，其沿X方向可自由移動(dòng)地設(shè)置在底座上；

第二工作臺(tái)，其沿Y方向可自由移動(dòng)地設(shè)置在該第一工作臺(tái)上；

第三工作臺(tái)，其沿Z方向可自由移動(dòng)地設(shè)置在該第二工作臺(tái)上，并具有所 述載置臺(tái)；和

Z位置計(jì)測(cè)單元，其用于測(cè)得所述載置臺(tái)的Z方向的位置，并具有設(shè)置于 所述第二工作臺(tái)和所述第三工作臺(tái)的一方并沿Z方向延伸的Z標(biāo)尺、和設(shè)置于 所述第二工作臺(tái)和所述第三工作臺(tái)的另一方并用于讀取所述Z標(biāo)尺的讀取部，

對(duì)于包括通過(guò)用于計(jì)測(cè)所述載置臺(tái)的X方向和Y方向的各位置的單元測(cè)得 的X方向和Y方向的各位置和Z方向的位置的、在驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的坐標(biāo)上被管理的 坐標(biāo)位置，根據(jù)拍攝所述載置臺(tái)上的被檢查基板和所述探測(cè)器的拍攝結(jié)果，通 過(guò)演算求得被處理基板的電極墊與探測(cè)器接觸的計(jì)算上的接觸位置的工序；以 及

在所述被處理基板的電極墊與探測(cè)器接觸的狀態(tài)下，當(dāng)使用所述Z位置計(jì) 測(cè)單元測(cè)得的所述載置臺(tái)的Z方向的位置從已預(yù)先設(shè)定的計(jì)算上的接觸位置變 化時(shí)，根據(jù)該變化量修正下次接觸時(shí)的接觸位置的Z方向的位置的工序。