[發(fā)明專利]探測裝置、探測方法和存儲介質(zhì)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910005649.1
• 申請日: 2009-02-10
• 公開（公告）號: CN101515016A
• 公開（公告）日: 2009-08-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 山本保人;鈴木勝;萩原順一
• 申請（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會社
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;G01R31/01
• 代理公司: 北京尚誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 龍 淳

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及使探針與被檢查體的電極墊電接觸測定該被檢查體的電特性的技術(shù)。

背景技術(shù)

用于對半導(dǎo)體晶片(以下簡稱晶片)進行探針測試的探測裝置構(gòu)成為，使晶片載置在X、Y、Z方向上自由移動并且圍繞Z軸(沿θ方向)自由旋轉(zhuǎn)的晶片卡盤上，控制晶片卡盤的位置使得在晶片卡盤的上方設(shè)置的探測卡的探測器(probe)例如探針和晶片的IC芯片的電極墊接觸。

并且，為了使探針和晶片上的IC芯片的電極墊精確地接觸，利用探測裝置內(nèi)的照相機對晶片的表面進行攝像，并且，利用例如在晶片卡盤側(cè)設(shè)置的照相機對探針進行攝像，基于各攝像時的晶片卡盤的位置，進行求得電極墊與探針接觸的晶片卡盤的位置的所謂的精度校準。

另外，作為使探針與晶片接觸的方法，公知的是使在探測卡中具有與晶片的全部的電極墊相對應(yīng)的探針，使探針與電極墊整體地接觸的方法，如果利用該方法，與使晶片上的一部分電極墊依次與探針接觸的情況相比能夠提高生產(chǎn)量。

為了進行上述的校準，必須確保晶片卡盤的移動區(qū)域，但是隨著晶片的大口徑化其移動區(qū)域也變大，難以避免探測裝置的大型化。另外，由于要求成產(chǎn)量的提高，以能夠搬入多個載體的方式構(gòu)成裝載部，關(guān)于相對于多個檢查部(探測裝置主體)使裝載部共通化等進行研究(專利文獻1)，但是出現(xiàn)追求高生產(chǎn)量和與此相伴裝置的占有面積變大的折衷的關(guān)系。另外，不僅裝置的占有面積變大，而且裝置重量也變重。進一步，準備在每個檢查部的X、Y、Z方向上自由移動的臺，必須在該臺上設(shè)置用于使晶片卡盤旋轉(zhuǎn)θ的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，因此裝置的成本變高。

專利文獻1：特公平6-66365號公報：第一圖

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明在上述情況下而完成，其目的是提供在具備多個探測裝置主體(檢查部)的探測裝置中，能夠?qū)ρb置的小型化、制造成本的低廉化作出貢獻的探測裝置、探測方法和存儲有實施該方法的程序的存儲介質(zhì)。

本發(fā)明的探測裝置，其在基板載置臺上載置排列有多個被檢查芯片的基板，使上述被檢查芯片的電極墊整體地與探測卡的探測器接觸，一次性地進行被檢查芯片的檢查，其特征在于，包括：

用于載置收納有多個基板的載體的裝載口；

多個探測裝置主體，其具有保持部，上述保持部裝卸自由地保持上述基板載置臺，并在使上述基板上的被檢查芯片的電極墊與上述探測卡的探測器接觸的上位置和用于進行上述基板載置臺的交接的下位置之間使上述基板載置臺升降；

用于在上述裝載口的載體和上述探測裝置主體之間進行基板的交接的裝載部；和

對上述探測裝置主體和上述裝載部輸出控制信號的控制部，

上述裝載部包括：用于在與上述載體之間進行上述基板的交接的基板搬送機構(gòu)；對上述多個探測裝置主體的各保持部公共地設(shè)置、用于在與各保持部之間進行上述基板載置臺的交接的載置臺搬送機構(gòu)；與該載置臺搬送機構(gòu)組合設(shè)置，使上述基板載置臺圍繞鉛直軸旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)和使該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)沿X方向、Y方向移動的XY移動機構(gòu)；通過上述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)在旋轉(zhuǎn)部位設(shè)置，對上述探測卡的探測器進行攝像的第一攝像單元；和用于對保持在上述載置臺搬送機構(gòu)上的基板載置臺的基板的被檢查芯片的電極墊進行攝像的第二攝像單元，

上述控制部，針對每個探測裝置主體，基于上述第一攝像單元和第二攝像單元的各攝像結(jié)果，以能夠使被檢查芯片與探測器接觸的方式通過上述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)和上述XY移動機構(gòu)調(diào)整上述載置臺搬送機構(gòu)上的基板載置臺的位置，將已進行過位置調(diào)整的該基板載置臺從上述載置臺搬送機構(gòu)交接到對應(yīng)的探測裝置主體的保持部，并且輸出控制信?號以使上述基板載置臺上的基板的電極墊與探測器接觸。

上述載置臺搬送機構(gòu)具備用于使上述XY移動機構(gòu)升降的升降機構(gòu)，

使上述基板載置臺從上述載置臺搬送機構(gòu)交接到對應(yīng)的探測裝置主體的保持部并且使基板載置臺上的基板的電極墊與探測器接觸的動作，優(yōu)選是通過上述載置臺搬送機構(gòu)使基板載置臺上的基板的電極墊與對應(yīng)的探測裝置主體的探測器接觸，保持該狀態(tài)不變將該基板載置臺從載置臺搬送機構(gòu)交接到保持部。

上述載置臺搬送機構(gòu)具備用于搬送基板載置臺的搬送機構(gòu)主體，

上述XY移動機構(gòu)優(yōu)選被設(shè)置在該搬送機構(gòu)主體。

上述探測裝置主體橫向排列地設(shè)置有多臺，

上述裝載部優(yōu)選構(gòu)成為與上述探測裝置主體的排列平行地自由移動。

上述的探測裝置，優(yōu)選具備用于在上述基板搬送機構(gòu)和上述載置臺搬送機構(gòu)之間交接基板的交接機構(gòu)。

上述交接機構(gòu)具備用于向上推起基板的升降銷，

上述基板載置臺具備貫通上述升降銷的貫通孔，