[發明專利]具冷卻效果的轉軸裝置

無效

• 申請號: 200910004028.1
• 申請日: 2009-02-09
• 公開（公告）號: CN101799037A
• 公開（公告）日: 2010-08-11
• 發明（設計）人: 黃泳釗;許三益;鄭博仁
• 申請（專利權）人: 北儒精密股份有限公司
• 主分類號: F16C3/02
• 分類號: F16C3/02;F16C37/00
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 李樹明

【技術領域】

本發明涉及一種轉軸裝置，特別是涉及一種安裝于真空腔體的轉軸裝 置。

【背景技術】

如圖1所示，為一種安裝在半導體制程所使用的真空腔體900上的轉 軸裝置1，該轉軸裝置1是穿設固定于真空腔體900的腔壁901上，并可透 過繞自體軸心轉動的軸桿11來驅動一個安裝在真空腔體900內的閥門902。 這種轉軸裝置1使用時，雖然已可借由其結構設計而達到完全氣密的效果， 但是因真空腔體900內部進行半導體制程作業時，真空腔體900內部通常 會處于高溫狀態，此高溫狀態會導致轉軸裝置1溫度升高，由于轉軸裝置1 的組成構件的材質并非完全相同，也就是組成構件的熱膨脹系數不盡相同， 所以當轉軸裝置1溫度過高時，容易導致其內部構件因熱膨脹變形，而影 響其整體氣密效果，引發外界空氣經由組成構件間的縫隙竄入真空腔體900 內的現象，其中，又因軸桿11是可轉動地直接穿設于腔壁901上，所以當 軸桿11與腔壁901間的熱膨脹幅度差異較大時，較容易因為軸桿11的轉 動，而造成外界空氣經由軸桿11與腔壁901間的縫隙進入真空腔體900中， 致使真空腔體900無法確保維持在真空狀態下，而導致制程失誤，因而有 待改進。

【發明內容】

本發明的目的是在于提供一種具冷卻效果的轉軸裝置。

本發明具冷卻效果的轉軸裝置，適用于安裝在一個真空腔體上，該真 空腔體具有一個界定出一個真空容室的腔壁，該腔壁穿設有一個連通真空 容室的插孔。該轉軸裝置是穿設固定于該插孔中，并包含一個軸座單元， 及一支安裝于軸座單元的軸桿，該軸座單元包括一個安裝于腔壁外壁面并 貫穿插孔地延伸入真空容室內的中空的基座、一個安裝于基座內的中空的 氣密襯套、至少一個安裝于基座內的軸承，及一個套置于基座外且與基座 外周面相配合界定出一個環繞基座的中空冷卻空間的冷卻套管，且該基座 位于真空腔體外的部位穿設有一個用以將冷卻液注入冷卻空間的注水孔， 及一個用以供冷卻空間中的冷卻液排出的排水孔。該軸桿是安裝于該軸承 中，且氣密貫穿該氣密襯套地延伸入真空容室內，并可被驅動而繞自體軸 心樞轉。

本發明的有益效果在于：透過該轉軸裝置具有可供注入與排出低溫冷 卻液的冷卻空間的結構設計，可使轉軸裝置在真空腔體作業期間，能夠冷 卻降溫而保持在一預定溫度范圍，可大幅降低其熱膨脹變形量，而維持其 氣密效果。

【附圖說明】

圖1是一般安裝于真空腔體的轉軸裝置側視剖面圖；

圖2是本發明具冷卻效果的轉軸裝置的第一個實施例的立體圖；

圖3是該第一個實施例安裝于一個真空腔體的側視剖面圖；

圖4是本發明具冷卻效果的轉軸裝置的第二個實施例安裝于一個真空 腔體的側視剖面圖。

【具體實施方式】

下面結合附圖及實施例對本發明進行詳細說明：

在本發明被詳細描述的前，要注意的是，在以下的說明內容中，類似 的元件是以相同的編號來表示。

如圖2、3所示，本發明具冷卻效果的轉軸裝置的第一個實施例，適用 于安裝在一個真空腔體2上，該真空腔體2具有一個界定出一個真空容室 20的腔壁21，且該腔壁21穿設有一個連通真空容室20的插孔210。

該轉軸裝置包含一個穿設于插孔210中而安裝固定于該腔壁21上的軸 座單元3，及一支可繞自體軸心樞轉地穿設于該軸座單元3中的軸桿4。

該軸座單元3包括一個限位靠抵于腔壁21外壁面并貫穿該插孔210 地延伸入真空容室20內的中空基座31、一個氣密靠抵于基座31內周面且 氣密套抵于該軸桿4外周面的氣密襯套32、二個沿基座31長度方向間隔設 置于基座31兩相反端部中并供軸桿4可轉動地穿設定位的軸承33、一個徑 向間隔地套接固定于基座31外并延伸入真空容室20中的冷卻套管34、一 個氣密塞裝固定于基座31位于真空容室20內的端部中的內端蓋35，及多 個間隔塞抵于內端蓋35內周面與軸桿4外周面的油封36。