[發(fā)明專利]具有多層結(jié)構(gòu)的石英玻璃坩堝有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200910003377.1 | 申請(qǐng)日： | 2009-01-22 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN101724887A | 公開（公告）日： | 2010-06-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 小玉真喜子;森川正樹 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 日本超精石英株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào)： | C30B15/10 | 分類號(hào)： | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105 | 代理人： | 張平元 |
| 地址： | 日本*** | 國(guó)省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 具有 多層 結(jié)構(gòu) 石英玻璃 坩堝 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種石英玻璃坩堝，其為硅單晶提拉用石英玻璃坩堝，從坩堝內(nèi)表 面?zhèn)戎镣獗砻鎮(zhèn)戎辽倬哂型该鲗印胪该鲗雍筒煌该鲗樱渲校该鲗託馀? 含有率小于0.3％，半透明層氣泡含有率為0.3％～0.6％的范圍，不透明層氣泡 含有率大于0.6％，半透明層和不透明層的厚度比例即半透明層：不透明層為 20∶80～40∶60。
2.權(quán)利要求1所述石英玻璃坩堝，其中，半透明層和不透明層的總厚 度為5～50mm的范圍。
3.權(quán)利要求1所述石英玻璃坩堝，其中，半透明層和不透明層的總厚 度為10～50mm的范圍。
4.權(quán)利要求1所述石英玻璃坩堝，其中，透明層在坩堝底部的厚度為 0.5～10mm的范圍。
5.權(quán)利要求1所述石英玻璃坩堝，其中，透明層在坩堝底部的厚度為 2～5mm的范圍。
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