[發明專利]熱式流體流量傳感器

無效

• 申請號: 200910002806.3
• 申請日: 2009-01-24
• 公開（公告）號: CN101498596A
• 公開（公告）日: 2009-08-05
• 發明（設計）人: 佐久間憲之
• 申請（專利權）人: 株式會社日立制作所
• 主分類號: G01F1/68
• 分類號: G01F1/68;B81B7/00
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所
• 代理人: 王茂華;于英慧

1.一種熱式流體流量傳感器，用于測量空氣流量，其具有發熱電 阻體和設置在上述發熱電阻體旁邊的測溫電阻體，其特征在于，具有：

半導體襯底；

第一端子電極及第二端子電極；

形成在上述半導體襯底上的第一絕緣膜；

形成在上述第一絕緣膜上的第二絕緣膜；

形成在上述第二絕緣膜上的第三絕緣膜；

分別形成在上述第二絕緣膜上且由導體膜構成的發熱電阻體和 測溫電阻體；

將上述發熱電阻體和上述第一端子電極連接的第一引出布線；

將上述測溫電阻體和上述第二端子電極連接的第二引出布線；以 及

在從上述熱式流體流量傳感器的上面觀察時設置在上述發熱電 阻體、上述測溫電阻體、上述第一引出布線或者上述第二引出布線的 內部，且周圍被上述導體膜包圍的第一浮島狀絕緣部；

上述第三絕緣膜的蝕刻速度比上述第二絕緣膜的蝕刻速度快，上 述第三絕緣膜的蝕刻速度與上述第二絕緣膜的蝕刻速度之比為3以 上。

2.根據權利要求1所述的熱式流體流量傳感器，其特征在于，

上述發熱電阻體的寬度大于上述測溫電阻體的寬度。

3.根據權利要求2所述的熱式流體流量傳感器，其特征在于，

上述第一浮島狀絕緣部設置在上述發熱電阻體、上述第一引出布 線或者上述第二引出布線的內部。

4.根據權利要求1所述的熱式流體流量傳感器，其特征在于，

上述第二絕緣膜由氮化硅膜構成，上述第三絕緣膜由氧化硅膜構 成。

5.根據權利要求1所述的熱式流體流量傳感器，其特征在于，

上述發熱電阻體和上述測溫電阻體的上部寬度大于上述發熱電 阻體和上述測溫電阻體的底部寬度，上述發熱電阻體和上述測溫電阻 體的側壁角度為60°以上89°以下。

6.根據權利要求1所述的熱式流體流量傳感器，其特征在于，

上述第一浮島狀絕緣部的俯視形狀是正方形或長方形。

7.根據權利要求1所述的熱式流體流量傳感器，其特征在于，

上述導體膜是以鉬、α鉭、鈦、鎢、鈷、鎳、鐵、鈮、鉿、鉻、 鋯、鉑、β鉭中任一種為主成分的金屬膜、或氮化鈦、氮化鉭、氮化 鉬、氮化鎢中任一種金屬氮化物膜、或鎢硅化物、鉬硅化物、鈷硅化 物、鎳硅化物中任一種金屬硅化物膜。

8.根據權利要求1所述的熱式流體流量傳感器，其特征在于，

上述第一浮島狀絕緣部設置在上述發熱電阻體或者上述測溫電 阻體的內部，

在上述第一引出布線的內部和上述第二引出布線的內部配置有 多個第二浮島狀絕緣部。

9.根據權利要求1所述的熱式流體流量傳感器，其特征在于，

上述測溫電阻體由上游側測溫電阻體和下游側測溫電阻體構成， 上述發熱電阻體配置在上述上游側測溫電阻體和下游側測溫電阻體 之間，上述上游側測溫電阻體與上述發熱電阻體的距離同上述下游側 測溫電阻體與上述發熱電阻體的距離相等。

10.根據權利要求9所述的熱式流體流量傳感器，其特征在于，

上述上游側測溫電阻體還由第一上游側測溫電阻體和第二上游 側測溫電阻體構成，上述下游側測溫電阻體還由第一下游側測溫電阻 體和第二下游側測溫電阻體構成，由上述第一上游側測溫電阻體、上 述第二上游側測溫電阻體、上述第一下游側測溫電阻體和上述第二下 游側測溫電阻體構成溫度傳感器電橋電路。

11.根據權利要求1所述的熱式流體流量傳感器，其特征在于， 還具有：

由發熱電阻體用測溫電阻體、空氣溫度測溫電阻體、第一加熱器 溫度控制用電阻體和第二加熱器溫度控制用電阻體構成的加熱器控 制電橋電路；和

將上述加熱器控制電橋電路的各電阻體之間的節點與第三端子 電極連接的第三引出布線，其中，

在上述第三引出布線的內部配置有第三浮島狀絕緣部。