[發(fā)明專利]互補(bǔ)式金屬耦合線無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200910002510.1 | 申請日： | 2009-01-16 |
| 公開（公告）號： | CN101783431A | 公開（公告）日： | 2010-07-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 莊晴光;蔣孟儒;吳憲順 | 申請（專利權(quán)）人： | 莊晴光 |
| 主分類號： | H01P5/00 | 分類號： | H01P5/00;H01P5/10;H01P3/08;H01L23/66 |
| 代理公司： | 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021 | 代理人： | 梁愛榮 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 互補(bǔ) 金屬 耦合 | ||
1.一種互補(bǔ)式金屬耦合線，其特征在于，包含：
一基板；
m層網(wǎng)目金屬層，該m層網(wǎng)目金屬層之間分別與m-1層第一介電層交錯疊接，由此形成一堆疊結(jié)構(gòu)于該基板之上，其中該m-1層第一介電層還具有多個金屬連接孔以連接交錯疊接的該m層網(wǎng)目金屬層，其中m≥2且m為自然數(shù)；
一第二介電層，位于該堆疊結(jié)構(gòu)之上；以及
n條金屬線，為相互邊緣耦合且位于該第二介電層之上，其中n≥2且n為自然數(shù)。
2.如權(quán)利要求1所述的互補(bǔ)式金屬耦合線，其特征在于，該n條金屬線包含直線形狀。
3.如權(quán)利要求1所述的互補(bǔ)式金屬耦合線，其特征在于，該n條金屬線包含L型形狀。
4.如權(quán)利要求1所述的互補(bǔ)式金屬耦合線，其特征在于，該n條金屬線包含相互平行的耦合方式。
5.如權(quán)利要求1所述的互補(bǔ)式金屬耦合線，其特征在于，該n條金屬線包含非平行的耦合方式。
6.如權(quán)利要求1所述的互補(bǔ)式金屬耦合線，其特征在于，該n條金屬線包含相對應(yīng)兩子金屬線與多個金屬連接孔，該兩子金屬線為互補(bǔ)式金氧半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)不同層的金屬層。
7.一種互補(bǔ)式金屬耦合線，其特征在于，包含：
一基板；
一網(wǎng)目金屬層，位于該基板之上；
一介電層，位于該網(wǎng)目金屬層之上；以及
n條金屬線，相互邊緣耦合且位于該介電層之上，其中n≥2且n為自然數(shù)。
8.如權(quán)利要求7所述的互補(bǔ)式金屬耦合線，其特征在于，該n條金屬線包含直線形狀。
9.如權(quán)利要求7所述的互補(bǔ)式金屬耦合線，其特征在于，該n條金屬線包含L型形狀。
10.如權(quán)利要求7所述的互補(bǔ)式金屬耦合線，其特征在于，該n條金屬線包含相互平行的耦合。
11.如權(quán)利要求7所述的互補(bǔ)式金屬耦合線，其特征在于，該n條金屬線包含非平行的耦合。
12.如權(quán)利要求7所述的互補(bǔ)式金屬耦合線，其特征在于，該n條金屬線包含相對應(yīng)兩子金屬線與多個金屬連接孔，該兩子金屬線為互補(bǔ)式金氧半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)不同層的金屬層。
13.一種互補(bǔ)式金屬耦合線，其特征在于，包含：
一基板；
m層網(wǎng)目金屬層，該m層網(wǎng)目金屬層之間分別與m-1層第一介電層交錯疊接，由此形成一堆疊結(jié)構(gòu)于該基板之上，其中該m-1層第一介電層還具有多個金屬連接孔以連接交錯疊接的該m層網(wǎng)目金屬層，其中m≥2且m為自然數(shù)；
一第二介電層，位于該堆疊結(jié)構(gòu)之上；以及
n條金屬線，相互上下耦合且位于該第二介電層之上，其中該n條金屬線之間分別與n-1層第三介電層交錯疊接，其中n≥2且n為自然數(shù)。
14.如權(quán)利要求13所述的互補(bǔ)式金屬耦合線，其特征在于，該n條金屬線包含直線形狀。
15.如權(quán)利要求13所述的互補(bǔ)式金屬耦合線，其特征在于，該n條金屬線包含L型形狀。
16.如權(quán)利要求13所述的互補(bǔ)式金屬耦合線，其特征在于，該n條金屬線包含相互平行的耦合方式。
17.如權(quán)利要求13所述的互補(bǔ)式金屬耦合線，其特征在于，該n條金屬線包含非平行的耦合方式。
18.如權(quán)利要求13所述的互補(bǔ)式金屬耦合線，其特征在于，該n條金屬線包含相對應(yīng)兩子金屬線與多個金屬連接孔，該兩子金屬線為互補(bǔ)式金氧半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)不同層的金屬層。
19.一種互補(bǔ)式金屬耦合線，其特征在于，包含：
一基板；
一網(wǎng)目金屬層，位于該基板之上；
一第一介電層，位于該網(wǎng)目金屬層之上；以及
n條金屬線，為相互上下耦合且位于該第一介電層之上，其中該n條金屬線之間分別與n-1層第二介電層交錯疊接，其中n≥2且n為自然數(shù)。
20.如權(quán)利要求19所述的互補(bǔ)式金屬耦合線，其特征在于，該n條金屬線包含直線形狀。
21.如權(quán)利要求19所述的互補(bǔ)式金屬耦合線，其特征在于，該n條金屬線包含L型形狀。
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