[發明專利]圖案描畫裝置及圖案描畫方法

有效

• 申請號: 200910001697.3
• 申請日: 2009-01-15
• 公開（公告）號: CN101551592A
• 公開（公告）日: 2009-10-07
• 發明（設計）人: 吉岡正喜
• 申請（專利權）人: 大日本網屏制造株式會社
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司
• 代理人: 馬少東;徐 恕

1.一種圖案描畫裝置，用于在基板上描畫圖案，該基板在其主面上具有 感光材料層，其特征在于，具有：

保持單元，用于保持基板；

照射單元，對所述保持單元所保持的基板照射用于描畫的能量束，所述 能量束的照射強度能夠改變；

移動單元，使所述保持單元相對于所述照射單元移動；

控制單元，通過向所述照射單元提供多值形式的控制信號，按照感光材 料層的厚度對所述能量束的照射強度進行多等級控制。

2.如權利要求1所述的圖案描畫裝置，其特征在于，所述控制單元根據 包含所述能量束的照射位置信息的圖案區域照射數據和周邊區域照射數據， 對所述照射單元進行照射控制，其中，所述圖案區域照射數據和所述周邊區 域照射數據分別與基板的主面區域中的描畫圖案的圖案區域和所述圖案區域 外的周邊區域相對應。

3.如權利要求2所述的圖案描畫裝置，其特征在于，

還包括數據合成單元，所述數據合成單元針對照射強度，以多值形式合 成所述圖案區域照射數據和所述周邊區域照射數據，

所述控制單元根據所述數據合成單元所合成的合成數據在各照射位置處 的照射強度信息，一邊使照射強度變化一邊對所述照射單元進行照射控制。

4.如權利要求2或3所述的圖案描畫裝置，其特征在于，

所述基板具有正型的感光材料層，

所述控制單元控制所述照射單元，使得利用照射強度比所述圖案區域的 照射強度更大的能量束來照射邊緣區域，其中，所述邊緣區域是指，在所述 周邊區域中，沿著基板的端緣的規定寬度的區域。

5.如權利要求2所述的圖案描畫裝置，其特征在于，所述周邊區域照射 數據包括與基板的識別信息有關的識別區域照射數據。

6.如權利要求2所述的圖案描畫裝置，其特征在于，所述圖案區域照射 數據以及所述周邊區域圖案數據不包括不進行所述能量束的照射的部分的位 置信息。

7.如權利要求2所述的圖案描畫裝置，其特征在于，所述能量束是光束。

8.一種圖案描畫方法，使基板相對用于照射能量束的照射單元移動，從 而在基板上描畫圖案，所述能量束用于描畫且其照射強度能夠改變，所述基 板在其主面上具有感光材料層，其特征在于，包括：

a工序，取得照射數據，其中，所述照射數據以多值形式具有照射強度信 息，所述照射強度信息與所述照射單元照射所述能量束的各照射位置相對應；

b工序，根據在所述a工序中所取得的照射數據在各照射位置處的照射強 度信息，一邊使照射強度變化一邊從所述照射單元向所述基板照射所述能量 束。