[發明專利]固體攝像器件

有效

• 申請號: 200910001116.6
• 申請日: 2009-01-22
• 公開（公告）號: CN101494229A
• 公開（公告）日: 2009-07-29
• 發明（設計）人: 平野智之
• 申請（專利權）人: 索尼株式會社
• 主分類號: H01L27/14
• 分類號: H01L27/14;H01L21/31
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 陳桂香;武玉琴

1.一種固體攝像器件，其包括：

硅層，所述硅層具有形成于其中的光電二極管和形成在所述光電二極管的表面上的正電荷累積區域；以及

光波導，其形成在所述光電二極管上方，用于將入射光引導至所述光電二極管中，

其中，在所述光波導中形成有絕緣層，并且

所述絕緣層具有5以上的介電常數和負固定電荷。

2.如權利要求1所述的固體攝像器件，其中，所述絕緣層被形成在所述光波導的整個內部部分中。

3.如權利要求1所述的固體攝像器件，其中，所述絕緣層由含有鉿、鋯、鋁、鉭、鈦、釔、鑭系元素中的至少一種的絕緣材料制成。

4.一種固體攝像器件，其包括：

硅層，所述硅層具有形成于其中的光電二極管和形成在所述光電二極管的表面上的正電荷累積區域；以及

光波導，其形成在所述光電二極管上方，用于將入射光引導至所述光電二極管中，

其中，在所述光電二極管上形成有絕緣層，所述絕緣層位于所述光波導下方，并且

所述絕緣層具有5以上的介電常數和負固定電荷。

5.如權利要求4所述的固體攝像器件，其中，所述絕緣層由含有鉿、鋯、鋁、鉭、鈦、釔、鑭系元素中的至少一種的絕緣材料制成。

6.如權利要求4所述的固體攝像器件，其中，在所述光波導中形成有絕緣層，并且該絕緣層具有5以上的介電常數和負固定電荷。