[發明專利]化學機械研磨機用的可撓膜無效
| 申請號： | 200910001100.5 | 申請日： | 2009-01-22 |
| 公開（公告）號： | CN101786259A | 公開（公告）日： | 2010-07-28 |
| 發明（設計）人： | 吳維岳 | 申請（專利權）人： | 吳奕德 |
| 主分類號： | B24B29/00 | 分類號： | B24B29/00;B24B37/04;H01L21/00;B24B41/06 |
| 代理公司： | 北京維澳專利代理有限公司 11252 | 代理人： | 尚世浩 |
| 地址： | 中國臺灣嘉義縣*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 化學 機械 研磨機 可撓膜 | ||
【權利要求書】：
1.一種化學機械研磨機用的可撓膜，該可撓膜包括一平面部，以及由平面部向上延伸的一套接部，該可撓膜藉由套接部套接于化學機械研磨機的承載頭上，其特征在于：該可撓膜系由高潔凈度的硅膠(silcone)所制成，且可撓膜外側利用真空微米涂裝方式涂布至少一層聚對二甲苯(Poly-para-xylylene)構成一涂布層，使涂布層形成可接觸晶圓的一接觸面。
2.如權利要求1所述的化學機械研磨機用的可撓膜，其特征在于：該涂布層系設置于可撓膜的平面部的外側。
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