[發(fā)明專利]鎢拋光液無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200910001034.1 | 申請(qǐng)日： | 2009-01-20 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN101781766A | 公開（公告）日： | 2010-07-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 閔學(xué)勇;邢振林 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 昆山市百益電子科技材料有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C23F3/04 | 分類號(hào)： | C23F3/04 |
| 代理公司： | 暫無(wú)信息 | 代理人： | 暫無(wú)信息 |
| 地址： | 215300 江蘇*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 拋光 | ||
1.一種鎢拋光液，其特征在于拋光液的組分及重量百份比如下：二氧化硅磨料1-40；PH調(diào)節(jié)劑0.2-10；螯合劑0.1-10；表面活性劑0.01-5；特殊添加劑0.1-8；余量為去離子水。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鎢拋光液，其特征在于，PH調(diào)節(jié)劑為堿性有機(jī)胺或有機(jī)酸，堿性有機(jī)胺如三乙胺和二異丁基胺中至少一種，有機(jī)酸如乙二胺四乙酸和檸檬酸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鎢拋光液，其特征在于，螯合劑為乙二胺四乙酸和檸檬酸及其鹽中的至少一種。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種鎢拋光液，其特征在于，所述拋光液的PH值范圍為2-4。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鎢拋光液，其特征在于，表面活性劑為醇醚類非離子類表面活性劑，如OP-10、TX-10中至少一種。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種鎢拋光液，其特征在于，二氧化硅顆粒的外面包裹上一層氧化鋁。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種鎢拋光液，其特征在于，采用在拋光前添加過(guò)氧化氫防止過(guò)氧化氫因過(guò)早混合而引起的分解。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種鎢拋光液，其特征在于，特殊添加劑為聚羧酸和聚酰胺中至少一種。
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