[發(fā)明專利]淺溝槽隔離拋光液無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200910001031.8 | 申請日： | 2009-01-20 |
| 公開（公告）號： | CN101781523A | 公開（公告）日： | 2010-07-21 |
| 發(fā)明（設計）人： | 閔學勇;邢振林 | 申請（專利權）人： | 昆山市百益電子科技材料有限公司 |
| 主分類號： | C09G1/02 | 分類號： | C09G1/02;H01L21/3105 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215300 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 溝槽 隔離 拋光 | ||
【權利要求書】：
1.一種淺溝槽隔離拋光液，其特征在于拋光液的組分及重量百份比如下：氧化鈰磨料1-50；PH調(diào)節(jié)劑0.2-10；螯合劑0.1-5；表面活性劑0.01-5；特殊添加劑0.1-10；余量為去離子水。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種淺溝槽隔離拋光液，其特征在于，螯合劑為乙二胺四乙酸和檸檬酸及其鹽中的至少一種。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種淺溝槽隔離拋光液，其特征在于，表面活性劑為醇醚類非離子類表面活性劑，如OP-10、TX-10中的至少一種。
4.根據(jù)權利要求1所述的一種淺溝槽隔離拋光液，其特征在于，所述拋光液的PH值范圍為4-5。
5.根據(jù)權利要求1所述的一種淺溝槽隔離拋光液，其特征在于，特殊添加劑為聚羧酸和聚酰胺中至少一種。
6.根據(jù)權利要求1所述的一種淺溝槽隔離拋光液，其特征在于，PH調(diào)節(jié)劑為堿性有機胺或有機酸。
7.根據(jù)權利要求6所述的一種淺溝槽隔離拋光液，其特征在于，堿性有機胺選用如三乙胺和二異丁基胺中的至少一種，有機酸選用如乙二胺四乙酸和檸檬酸中的至少一種。
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