[發(fā)明專利]檢查系統(tǒng)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910000979.1
• 申請日: 2009-01-23
• 公開（公告）號: CN101499434A
• 公開（公告）日: 2009-08-05
• 發(fā)明（設計）人: 高橋武博
• 申請（專利權）人: 奧林巴斯株式會社
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L21/268;H01L21/00
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權代理有限公司
• 代理人: 黃綸偉

1.一種檢查系統(tǒng)，該檢查系統(tǒng)具有缺陷檢查裝置和復查裝置，其特 征在于，所述缺陷檢查裝置對形成在基板上的缺陷進行識別，并取得缺 陷信息，所述缺陷信息包含表示所述缺陷的位置坐標的缺陷位置坐標和 表示所述缺陷的尺寸的缺陷尺寸，

所述復查裝置根據(jù)所述缺陷檢查裝置所取得的所述缺陷位置坐標， 使攝像范圍相對移動，利用顯微鏡對所述基板進行檢查，

所述復查裝置具有坐標計算部，該坐標計算部根據(jù)所述缺陷信息和 用于構成所述攝像范圍的攝像范圍信息，使多個缺陷位置坐標歸納成進 入同一攝像范圍內(nèi)的一個坐標，來計算使所述相對移動的次數(shù)減少的坐 標。

2.根據(jù)權利要求1所述的檢查系統(tǒng)，其特征在于，

所述坐標計算部具有同一視野內(nèi)缺陷提取部，該同一視野內(nèi)缺陷提 取部用于求出多個缺陷同時進入所述顯微鏡的同一攝像范圍內(nèi)的坐標。

3.根據(jù)權利要求1所述的檢查系統(tǒng)，其特征在于，

所述坐標計算部具有格子坐標設定部，該格子坐標設定部根據(jù)所述 顯微鏡的攝像范圍來求出多個缺陷所進入的格子。

4.根據(jù)權利要求1所述的檢查系統(tǒng)，其特征在于，

所述復查裝置具有缺陷坐標存儲部，該缺陷坐標存儲部存儲從所述 缺陷檢查裝置輸出的缺陷的位置坐標。

5.根據(jù)權利要求1所述的檢查系統(tǒng)，其特征在于，

所述復查裝置是具有空間調(diào)制元件、并且?guī)в行拚δ艿膹筒檠b置， 所述修正功能是以任意形狀一次照射多束激光來進行修正的功能。

6.根據(jù)權利要求1所述的檢查系統(tǒng)，其特征在于，

所述復查裝置具有不需照射激光部分判定部，該不需照射激光部分 判定部提取出需要利用激光進行修正的缺陷部分，并排除不需要進行修 正的部分。

7.一種檢查系統(tǒng)，該檢查系統(tǒng)具有缺陷檢查裝置、復查裝置和坐標 計算部，其特征在于，所述缺陷檢查裝置對形成在基板上的缺陷進行識 別，并取得缺陷信息，所述缺陷信息包含表示所述缺陷的位置坐標的缺 陷位置坐標和表示所述缺陷的尺寸的缺陷尺寸，

所述復查裝置根據(jù)所述缺陷檢查裝置所取得的所述缺陷位置坐標， 使攝像范圍相對移動，利用顯微鏡對所述基板進行檢查，

所述坐標計算部根據(jù)所述缺陷信息和用于構成所述攝像范圍的攝像 范圍信息，使多個缺陷位置坐標歸納成進入同一攝像范圍內(nèi)的一個坐標， 來計算使所述相對移動的次數(shù)減少的坐標。