[發明專利]襯底處理所用的舉升銷

有效

• 申請號: 200880120701.1
• 申請日: 2008-12-09
• 公開（公告）號: CN101897015A
• 公開（公告）日: 2010-11-24
• 發明（設計）人: 亞歷山大·N·萊內爾;貝賀德札特·邁赫蘭;保拉·瓦迪維亞
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/687
• 代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 11258
• 代理人: 趙飛;南霆

1.一種用于操作襯底承載座的承載表面上方的襯底的舉升銷，該舉升銷包含：

銷桿，包含截面，所述截面具有至少三個等長邊與三個圓角，且所述等長邊及所述圓角為交錯配置；

銷頭，位于所述銷桿的端部，其中所述銷頭具有凸出承載面，且所述凸出承載面大于所述銷桿的所述截面；以及

平坦部，位于所述凸出承載面的中間區域上，用以直接接觸所述襯底。

2.如權利要求1所述的舉升銷，其中所述圓角為圓周的一部分，且所述銷桿的所述截面為具有三個圓角的等邊三角形。

3.如權利要求1所述的舉升銷，其中所述平坦部小于所述銷桿的所述截面。

4.如權利要求1所述的舉升銷，其中當所述平坦部接觸所述襯底時，所述凸出承載面與所述襯底的底面之間的夾角約為5度。

5.如權利要求1所述的舉升銷，其中所述平坦部為圓形區域。

6.如權利要求1所述的舉升銷，其中所述凸出承載面為圓形區域。

7.如權利要求1所述的舉升銷，其中所述銷桿包含氧化鋁。

8.一種襯底承載組件，用以操作位于其上方的襯底，所述襯底承載組件包含：

舉升銷組件，包含多個舉升銷，且每一個所述舉升銷包含；

銷桿，包含截面，所述截面具有至少三個等長邊與三個圓角，且所述等長邊及所述圓角為交錯配置；

銷頭，位于所述銷桿的端部，其中所述銷頭具有凸出承載面，且所述凸出承載面大于所述銷桿的所述截面；以及

平坦部，位于所述凸出承載面的中間區域上，用以直接接觸所述襯底；以及

襯底承載座，具有多個銷孔洞，所述舉升銷可移動穿過所述些銷孔洞以操作所述襯底。

9.如權利要求8所述的襯底承載組件，其中所述銷桿包含氧化鋁。

10.如權利要求8所述的襯底承載組件，其中所述襯底承載座包含陶瓷材料。

11.如權利要求8所述的襯底承載組件，其中所述圓角為圓周的一部分，且所述銷桿的所述截面為具有三個圓角的等邊三角形。

12.如權利要求8所述的襯底承載組件，其中所述平坦部小于所述銷桿的所述截面。

13.如權利要求8所述的襯底承載組件，其中當所述平坦部接觸所述襯底時，所述凸出承載面與所述襯底的底面之間的夾角約為5度。

14.如權利要求8所述的襯底承載組件，其中所述平坦部為圓形區域。

15.如權利要求8所述的襯底承載組件，其中所述凸出承載面為圓形區域。