[發明專利]可動元件和處理臺有效
| 申請號： | 200880109962.3 | 申請日： | 2008-11-11 |
| 公開（公告）號： | CN101815659A | 公開（公告）日： | 2010-08-25 |
| 發明（設計）人： | 井上祐也;田中壽人;谷藤保 | 申請（專利權）人： | 株式會社愛發科 |
| 主分類號： | B65G49/06 | 分類號： | B65G49/06;B23Q1/01;B23Q1/58;H01L21/027;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京德琦知識產權代理有限公司 11018 | 代理人： | 齊葵;王誠華 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 元件 處理 | ||
【權利要求書】：
1.一種可動元件，載置并移動被處理基板，其特征在于，包括：
由金屬材料制成的主板；和
配置在所述主板上，并由硬度高于所述金屬材料的材料制成的多個副板，
所述多個副板的上表面為所述被處理基板的載置面，
所述副板通過配置在所述副板的中央部的第一固定部而固定在所述主板上，進一步，所述副板在所述副板的邊緣部，通過第二固定部以限制所述副板在厚度方向上的移動并容許所述副板在表面方向上的移動的方式固定在所述主板上，
在所述副板的上表面上設置有凹部，在所述凹部內設置有吸引孔，所述吸引孔通過所述第一固定部的內部貫通到該可動元件的背面。
2.根據權利要求1所述的可動元件，其特征在于，
所述主板由鋁制成。
3.根據權利要求1或2所述的可動元件，其特征在于，
所述副板由花崗巖材制成。
4.一種處理臺，其特征在于，包括：
權利要求1或2所述的可動元件；
設置有對所述被處理基板進行規定處理的處理裝置的處理部；和
至少使所述可動元件移動以使所述可動元件與所述處理部的相對位置關系發生變化的位置控制部件。?
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