[發明專利]帶緩沖的傳輸系統

無效

• 申請號: 200880107766.2
• 申請日: 2008-09-07
• 公開（公告）號: CN101855718A
• 公開（公告）日: 2010-10-06
• 發明（設計）人: 安藤光裕
• 申請（專利權）人: 村田自動化機械有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/67;B65G1/00;B65G49/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 田軍鋒;魏金霞

背景技術

在半導體制造設備中將諸如前開式晶片盒(front?opening?unifiedpods，FOUPs)和標準機械界面(standard?mechanical?interface，SMIF)盒的容器傳送到加工工具和裝載端口上是很費錢的。在加工工具之間傳送FOUPs和SMIF盒的一種方法是自動化物料搬運系統(automatedmaterial?handling?system，AMHS)。AMHS或傳輸系統在制造設備中移動半導體晶片或平面板的容器或箱。制造設備中的容器移動可以在各個工具區內和/或在工具區之間進行。制造設備通常包括用于儲存容器的堆料裝置。希望通過盡量將容器直接從加工工具傳送到加工工具而減少AMHS運輸中的延遲。AMHS中任意部分的吞吐容量不足都可能導致AMHS中其他部分的吞吐量低于額定值，因為不足用的部件與其他部分是串聯的。容器在加工步驟完成之后通常被傳送到堆料裝置，然后當其他工具準備好時再移走并傳送到該工具。常規堆料裝置有限的吞吐量限制了系統傳送到堆料裝置和從堆料裝置移走容器的整體吞吐容量。因此，AMHS的總吞吐容量受堆料裝置吞吐量的限制。本受讓人生產了各種高吞吐量的系統，包括公開在美國專利申請No.11/064,880中的、名稱為“直接裝載工具”的直接工具裝載系統。該直接工具裝載系統還可能與常規堆料裝置發生吞吐量不匹配。如在所引用的美國專利申請中描述的，該直接工具裝載系統為基于地面的容器傳輸系統(例如，在等于或低于加工工具裝載高度的高度處傳輸容器的容器傳輸系統)。需要將吞吐量非常高的堆料裝置與豎直容器傳輸系統相結合以充分利用直接裝載系統的吞吐潛力。常規堆料裝置的限制在有些AMHS中可能不易顯現，因為AMHS本身的吞吐量也有限。

一種類型的AMHS或傳輸系統為高架傳輸(OHT)系統。在常規OHT系統中，除了其他功能外，OHT車還將FOUP降至離制造設備地面大約高900mm的裝載端口的運動板上。OHT系統使用復雜的頂裝軌道和電纜吊車來將FOUPs傳送到這些裝載端口。水平移動、電纜吊車伸長以及單向操作的組合必須協調，以便在加工工具之間快速傳輸FOUPs。為了在OHT系統中實現最佳效率，必須在需要裝載或卸載加工工具時馬上有OHT車可用。本受讓人的直接工具裝載系統提供了一種針對高吞吐量的制程區內(intra-bay)工具傳送能力的AMHS方案。該直接工具裝載系統對于吞吐量來說具有若干優勢，例如，高吞吐量輸送器的AMHS直接延伸到工具，以及由于獨立裝載端口輸送器裝載/卸載機構而高度平行的輸送器界面。在任意給定時間，許多容器可以在無交互干涉的情況下處于正掉落到輸送器上或從輸送器上拾起的過程中。為了充分利用其吞吐潛力，AMHS需要高吞吐量的堆料裝置與豎直傳輸系統的結合，其能夠有效地連接到滿足各種設備構造要求的柔性構造中的制程區間(interbay)AMHS上。

因此，需要改進的高吞吐量容器傳輸系統和在制造設備中提高儲存能力。

發明內容

廣義來說，本發明通過提供一種用于制造設備內的傳輸系統的結構而滿足了這些需求。應該理解的是，可以以包括方法、系統或設備的多種方式實現本發明。下面對本發明的若干創造性實施方式進行描述。

在一個實施方式中，提供了一種用于制造設備的工作流程單元。該工作流程單元包括半導體加工工具和在半導體加工工具附近保持前開式晶片盒(FOUPs)的緩沖站。緩沖站從制造設備的主堆料裝置接收FOUPs。緩沖站構造為儲存主堆料裝置中的一部分FOUPs。工作流程單元還包括連接半導體加工工具和緩沖站的輸送機構。在一個實施方式中，輸送機構為直接工具裝載機構。還提供了一種具有該工作流程單元的制造設備。

在另一個實施方式中，提供了一種在半導體加工設備中移動傳輸容器的方法。該方法包括在第一控制系統的指示下將傳輸容器傳送到位于加工工具附近的緩沖站。該緩沖站為相應的工作流程單元的一部分。該方法包括根據對應的第二控制系統移動傳輸容器通過該緩沖站和其相應的工作流程單元，第二控制系統獨立于第一控制系統。所述移動包括在所述緩沖站中針對相應工作流程單元的加工工具對準傳輸容器。通過基于地面的輸送機構將傳輸容器傳送到加工工具，其中，將所述傳輸容器傳送到所述緩沖站中的傳送端口和將所述傳輸容器傳送到所述輸送機構的傳送端口沿在所述加工工具前方延伸的平面對準。

本發明的其他方面和優點將從下面結合附圖并通過示例說明本發明原則的詳細描述而變得很明顯。

附圖說明

從下面結合附圖并通過示例說明本發明原則的詳細描述，本發明的各方面將變得很明顯。

圖1至3顯示了根據本發明一個實施方式的直接工具裝載設備的示例性實施方式。