[發明專利]薄膜太陽能電池元件及其制造方法

有效

• 申請號: 200880107564.8
• 申請日: 2008-09-17
• 公開（公告）號: CN101803038A
• 公開（公告）日: 2010-08-11
• 發明（設計）人: 山向干雄;折田泰;山林弘也
• 申請（專利權）人: 三菱電機株式會社
• 主分類號: H01L31/04
• 分類號: H01L31/04
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 金春實

1.一種薄膜太陽能電池元件，層疊有表面透明電極層、由以硅 為主要成分的半導體層膜構成的光電變換層、以及背面金屬電極層， 其中，

還具有透明電極層，該透明電極層在所層疊的層間與上述光電變 換層相接地設置，并以氧化物為主要成分，

上述透明電極層具有貫通孔和導電部件，該導電部件設置在該貫 通孔中并分別相接于：上述光電變換層、以及和上述透明電極層在與 上述光電變換層側相反一側相接的層，

上述導電部件由非氧化物構成，該非氧化物的材料分別不同于： 上述光電變換層、以及和上述透明電極層在與上述光電變換層側相反 一側相接的層，

上述透明電極層設置于上述光電變換層和上述背面金屬電極層之 間，

上述導電部件設置成與上述光電變換層和上述背面金屬電極層相 接，并由與上述光電變換層以及上述背面金屬電極層分別不同材料的非 氧化物構成，

在上述透明電極層內分布并設置有多個上述導電部件。

2.如權利要求1所述的薄膜太陽能電池元件，其特征在于：

上述非氧化物由鉑、金、鉻、釕和氮化鈦中的任一種構成，

上述背面金屬電極層由銀或者鋁構成。

3.一種薄膜太陽能電池元件，層疊有表面透明電極層、由以硅 為主要成分的半導體層膜構成的光電變換層、以及背面金屬電極層， 其中，

還具有透明電極層，該透明電極層在所層疊的層間與上述光電變 換層相接地設置，并以氧化物為主要成分，

上述透明電極層具有貫通孔和導電部件，該導電部件設置在該貫 通孔中并分別相接于：上述光電變換層、以及和上述透明電極層在與 上述光電變換層側相反一側相接的層，

上述導電部件由非氧化物構成，該非氧化物的材料分別不同于： 上述光電變換層、以及和上述透明電極層在與上述光電變換層側相反 一側相接的層，

具有被層疊的兩個上述光電變換層，

上述透明電極層設置于兩個上述光電變換層之間，

上述導電部件設置成與兩個上述光電變換層分別相接，并由與兩 個上述光電變換層不同材料的非氧化物構成，

在上述透明電極層內分布并設置有多個上述導電部件。

4.如權利要求3所述的薄膜太陽能電池元件，其特征在于：

上述非氧化物由鉑、金、鉻、釕和氮化鈦中的任一種構成。

5.如權利要求1～4中任一項所述的薄膜太陽能電池元件，其特征 在于：

上述貫通孔的總面積相對于上述薄膜太陽能電池元件的面積的 比率設定在1×10^-7以上至4×10^-6以下的范圍內。

6.一種薄膜太陽能電池元件的制造方法，該薄膜太陽能電池元 件層疊有表面透明電極層、由以硅為主要成分的半導體層膜構成的光 電變換層、以及背面金屬電極層，其中，該制造方法包括：以在所層 疊的層間與上述光電變換層相接的方式，形成以氧化物為主要成分的 透明電極層的工序，

形成上述透明電極層的工序包括：

在上述光電變換層之上形成上述透明電極層的第一工序；

在上述透明電極層中形成貫通孔的第二工序；

除去上述貫通孔的底面的氧化硅膜的第三工序；

在上述透明電極層的上述貫通孔中填充由與上述光電變換層不 同材料的非氧化物構成的導電部件的第四工序；以及

在上述透明電極層和上述導電部件上，與上述透明電極層和上述 導電部件相接地形成與上述導電部件不同材料的層的第五工序，

在上述透明電極層內分布并設置有多個上述導電部件。

7.如權利要求6所述的薄膜太陽能電池元件的制造方法，其特征 在于：

上述第四工序包括：

在上述透明電極層之上，以填埋上述貫通孔的方式，形成由與上述 光電變換層不同材料的非氧化物構成的導電材料的膜的工序；

對上述導電材料的膜進行回蝕直到露出上述透明電極層的上表面 的工序。