[發明專利]金屬膜的制造方法、金屬膜及其應用

有效

• 申請號: 200880104363.2
• 申請日: 2008-11-14
• 公開（公告）號: CN101784696A
• 公開（公告）日: 2010-07-21
• 發明（設計）人: 中島誠二;早瀬哲生;森哲也
• 申請（專利權）人: 歐姆龍株式會社
• 主分類號: C23C18/18
• 分類號: C23C18/18;C23C18/20;H01B13/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 張平元

1.一種金屬膜制造方法，其特征在于包括以下步驟：

有機膜形成步驟，將包含具有3個以上反應基團的加成聚合性化合物、 具有酸性基團的加成聚合性化合物、和具有親水性官能團的加成聚合性化 合物的底層組合物涂布在基板或薄膜上，并進行聚合而形成有機膜；

金屬鹽生成步驟，用含有金屬M1離子的水溶液對所述有機膜進行處 理，將所述酸性基團轉化為酸性基團的金屬M1鹽；

金屬固定步驟，通過使用金屬M2離子水溶液，對所述通過含有金屬 M1離子的水溶液處理過的有機膜進行處理，將所述酸性基團的金屬M1 鹽轉化為金屬M2鹽，所述金屬M2離子水溶液含有離子化傾向比所述金 屬M1離子低的金屬M2離子，并且所述金屬M2離子水溶液，包含堿金 屬和/或堿土金屬的離子；

還原步驟，將所述金屬M2離子還原，在所述有機膜表面形成金屬膜；

氧化步驟，將所述金屬膜進行氧化，

所述金屬M1為堿金屬或堿土金屬，

所述金屬M2為銦、鋅、錫中所選的1種以上的金屬，或金、銀、銅、 鎳、鉑、鈷、鐵。

2.一種金屬膜制造方法，其特征在于包括以下步驟：

有機膜形成步驟，將包含具有3個以上反應基團的加成聚合性化合物、 具有酸性基團的加成聚合性化合物、和具有親水性官能團的加成聚合性化 合物的底層組合物涂布在基板或薄膜上，并進行聚合而形成有機膜；

金屬鹽生成步驟，用含有金屬M1離子的水溶液對所述有機膜進行處 理，將所述酸性基團轉化為酸性基團的金屬M1鹽；

金屬固定步驟，通過使用金屬M2離子水溶液，對所述通過含有金屬 M1離子的水溶液處理過的有機膜進行處理，將所述酸性基團的金屬M1 鹽轉化為金屬M2鹽，所述金屬M2離子水溶液含有離子化傾向比所述金 屬M1離子低的金屬M2離子，并且所述金屬M2離子水溶液包含多元醇；

還原步驟，將所述金屬M2離子還原，在所述有機膜表面形成金屬膜；

氧化步驟，將所述金屬膜進行氧化，

所述金屬M1為堿金屬或堿土金屬，

所述金屬M2為銦、鋅、錫中所選的1種以上的金屬，或金、銀、銅、 鎳、鉑、鈷、鐵。

3.根據權利要求1或2所述的金屬膜制造方法，其特征在于：所述底 層組合物中，還含有具有堿性基團的加成聚合性化合物。

4.根據權利要求3所述的金屬膜制造方法，其特征在于：所述堿性基 團是選自氨基、吡啶基、嗎啉基、苯胺基中的1個以上的官能團。

5.根據權利要求1或2所述的金屬膜制造方法，其特征在于：所述氧 化是通過使用紫外線、等離子體或紅外線照射金屬膜，或通過對金屬膜加 溫而進行的。

6.根據權利要求1或2所述的金屬膜制造方法，其特征在于：所述酸 性基團包含選自羧基、磺酸基、酚基、苯甲酸基、鄰苯二甲酸基、水楊酸 基、乙酰水楊酸基以及苯磺酸基中的1個以上的官能團。

7.根據權利要求1或2所述的金屬膜制造方法，其特征在于：所述具 有3個以上反應基團的加成聚合性化合物的反應基為丙烯酰基和/或甲基 丙烯酰基。

8.根據權利要求1或2所述的金屬膜制造方法，其特征在于：所述親 水性官能團包含環氧乙烷基和/或環氧丙烷基。

9.根據權利要求1或2所述的金屬膜制造方法，其特征在于：所述金 屬M1為鉀或鈉。

10.根據權利要求1或2所述的金屬膜制造方法，其特征在于：所述金 屬M2，為選自銦、鋅、錫中的1種以上的金屬。