[發(fā)明專利]流路中流動(dòng)的樣本的光學(xué)特性測(cè)量裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200880101132.6
• 申請(qǐng)日: 2008-06-03
• 公開（公告）號(hào): CN101765765A
• 公開（公告）日: 2010-06-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 巖井秀直;山內(nèi)豐彥
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浜松光子學(xué)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01N21/45
• 分類號(hào): G01N21/45;G01B9/02
• 代理公司: 北京尚誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種光學(xué)特性測(cè)量裝置，其特征在于，

是利用光的干涉來(lái)測(cè)量流路中的樣本的光學(xué)特性的光學(xué)特性測(cè)量 裝置，

具備：

光源部，其輸出光；

第1光耦合器，其將從所述光源部輸出的光調(diào)制成2個(gè)分支并作 為第1分支光以及第2分支光輸出；

第2光耦合器，其輸入從所述第1光耦合器輸出并經(jīng)過(guò)第1分支 光路的第1分支光，并輸入從所述第1光耦合器輸出并在經(jīng)過(guò)第2分 支光路的同時(shí)通過(guò)該第2分支光路上的所述流路的第2分支光，并且 使這些輸入的第1分支光以及第2分支光干涉并輸出該干涉光；

相位調(diào)制部，其被設(shè)置于所述第1光耦合器與所述第2光耦合器 之間的所述第1分支光路以及所述第2分支光路中的任意的光路上， 并以頻率f對(duì)在該光路上傳播的光進(jìn)行相位調(diào)制；

光程長(zhǎng)度差調(diào)整部，其對(duì)所述第1光耦合器與所述第2光耦合器 之間的所述第1分支光路以及所述第2分支光路的各自的光程長(zhǎng)度的 差進(jìn)行調(diào)整；

受光部，接收從所述第2光耦合器輸出的干涉光并輸出對(duì)應(yīng)于該 受光強(qiáng)度的值的電信號(hào)；

同步檢測(cè)部，其輸入從所述受光部輸出的電信號(hào)，并在輸出對(duì)應(yīng) 于該電信號(hào)中所含的頻率f的成分的大小的值的第1信號(hào)的同時(shí)，輸出 對(duì)應(yīng)于該電信號(hào)中所含的頻率2f的成分的大小的值的第2信號(hào)；

控制部，其以根據(jù)從所述同步檢測(cè)部輸出的第1信號(hào)或者第2信 號(hào)而使被所述光程長(zhǎng)度差調(diào)整部調(diào)整的光程長(zhǎng)度差為規(guī)定值的方式進(jìn) 行控制，使由于環(huán)境變動(dòng)而引起的光程長(zhǎng)度差的變動(dòng)頻率透過(guò)、并且 經(jīng)由低通濾波器來(lái)進(jìn)行，其中，該低通濾波器截?cái)喟殡S著樣本通 過(guò)的信號(hào)的頻率；以及

測(cè)量部，其根據(jù)從所述同步檢測(cè)部輸出的第1信號(hào)以及第2信號(hào)， 測(cè)量所述流路中的樣本的光學(xué)特性。

2.一種光學(xué)特性測(cè)量裝置，其特征在于，

是利用光的干涉來(lái)測(cè)量流路中的樣本的光學(xué)特性的光學(xué)特性測(cè)量 裝置，

具備：

光源部，其輸出光；

第1光耦合器，其將從所述光源部輸出的光調(diào)制成2個(gè)分支并作 為第1分支光以及第2分支光輸出；

第2光耦合器，其輸入從所述第1光耦合器輸出并經(jīng)過(guò)第1分支 光路的第1分支光，并輸入從所述第1光耦合器輸出并在經(jīng)過(guò)第2分 支光路的同時(shí)通過(guò)該第2分支光路上的所述流路的第2分支光，并且 使這些輸入的第1分支光以及第2分支光干涉并輸出該干涉光；

相位調(diào)制部，其被設(shè)置于所述第1光耦合器與所述第2光耦合器 之間的所述第1分支光路以及所述第2分支光路中的任意的光路上， 并以頻率f對(duì)在該光路上傳播的光進(jìn)行相位調(diào)制；

光程長(zhǎng)度差調(diào)整部，其對(duì)所述第1光耦合器與所述第2光耦合器 之間的所述第1分支光路以及所述第2分支光路的各自的光程長(zhǎng)度的 差進(jìn)行調(diào)整；

第1受光部，選擇性地接收從所述第2光耦合器輸出的干涉光中 的0次光，并輸出對(duì)應(yīng)于該受光強(qiáng)度的值的第1電信號(hào)；

第2受光部，選擇性地接收從所述第2光耦合器輸出的干涉光中 的高次光，并輸出對(duì)應(yīng)于該受光強(qiáng)度的值的第2電信號(hào)；

第1同步檢測(cè)部，其輸入從所述第1受光部輸出的第1電信號(hào)， 并輸出對(duì)應(yīng)于該第1電信號(hào)中所含的頻率f的成分的大小的值的第1 信號(hào)，或者輸出對(duì)應(yīng)于該第1電信號(hào)中所含的頻率2f的成分的大小的 值的第2信號(hào)；

第2同步檢測(cè)部，其輸入從所述第2受光部輸出的第2電信號(hào)， 并在輸出對(duì)應(yīng)于該第2電信號(hào)中所含的頻率f的成分的大小的值的第3 信號(hào)的同時(shí)，輸出對(duì)應(yīng)于該第2電信號(hào)中所含的頻率2f的成分的大小 的值的第4信號(hào)；

控制部，其以根據(jù)從所述第1同步檢測(cè)部輸出的第1信號(hào)或者第2 信號(hào)而使被所述光程長(zhǎng)度差調(diào)整部調(diào)整的光程長(zhǎng)度差為規(guī)定值的方式 進(jìn)行控制；以及

測(cè)量部，其根據(jù)從所述第2同步檢測(cè)部輸出的第3信號(hào)以及第4 信號(hào)，測(cè)量所述流路中的樣本的光學(xué)特性。