[發明專利]浮起傳送系統

有效

• 申請號: 200880021799.5
• 申請日: 2008-06-03
• 公開（公告）號: CN101711219A
• 公開（公告）日: 2010-05-19
• 發明（設計）人: 平田賢輔;田中刈入
• 申請（專利權）人: 株式會社IHI
• 主分類號: B65G51/03
• 分類號: B65G51/03;B65G13/04;B65G49/06;H01L21/677
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 張敬強

技術領域

本發明涉及一種通過使用壓縮空氣等的流體浮起對象物的浮起裝置及在 浮起的同時傳送對象物的浮起傳送系統。

背景技術

在現有技術中揭示有多種通過使用壓縮空氣等的流體來將對象物浮起的 同時傳送的浮起傳送系統。這些浮起傳送系統，一般是分別具有使得空氣等的 流體通過的噴出孔的多個浮起裝置。向浮起裝置和對象物之間噴出的空氣等的 流體發生壓力，對象物通過此壓力浮起，并通過傳送裝置的驅動力被傳送。相 關技術記載于日本專利申請公開公報2006-182563號中。

發明內容

在從一個浮起裝置移動到其他浮起裝置時，特別是對象物是容易彎曲的材 料的情況下，存在對象物的末端容易與其他浮起裝置的前端碰撞的問題。

為解決上述問題的不足，本發明是以提供一種即使是浮起物浮起高度為預 定值，也可以避免對象物的末端與浮起裝置碰撞的問題的浮起傳送系統為目 的。

本發明是以如下方式實現的。本發明的第一方面的浮起傳送系統，通過受 壓的流體來使具有下面的對象物浮起，且將該對象物從第一端朝向第二端傳 送，所述浮起傳送系統具有：

浮起裝置，配置成從所述第一端朝向所述第二端隔著間隔形成列，且分別 具有：

基部，用于分割所述流體通過的小室，

島部件，具有呈平面狀的上面、和包含與所述上面鄰接且朝向所述上 面的中心傾斜的斜面的側面，且配置成可覆蓋所述小室，

外壁部件，用于圍住所述島部件，且具有與所述島部件的所述側面相 對的內面、與所述上面對齊成在單一平面上的頂上面、配置在與所述第一端相 對的端且選自由后退到與所述頂上面相比為下方的階段面及可與所述對象物 接觸且可旋轉的輥所構成的組中的一個，并且，所述側面和所述內面通過與所 述小室連通來分割用于噴出所述流體的噴出孔；

傳送裝置，用于傳送所述對象物。

優選為，所述噴出孔，至少在所述頂上面附近沿所述斜面朝向所述島部件 的中心傾斜。優選為，所述島部件的所述斜面，露出到與所述階段面相比上方。 或者優選為，所述噴出孔在所述階段面形成開口。

附圖說明

圖1是表示根據本發明第一實施方式的浮起傳送系統的部分俯視圖。

圖2是表示圖1的II-II向部分剖視圖。

圖3是表示根據所述第一實施方式的浮起裝置的部分俯剖視圖。

圖4是表示將圖3沿IV-IV向剖開的所述浮起裝置的橫向剖視圖。

圖5是表示將圖3沿V-V向剖開的所述浮起裝置的縱向剖視圖。

圖6是表示將圖1沿VI-VI向剖開的所述浮起裝置的立面圖。

圖7是表示根據所述第一實施方式的變形例的浮起裝置的立面圖。

圖8是表示根據第二實施方式的浮起傳送系統的部分俯視圖。

圖9是表示所述第二實施方式的浮起裝置的俯視圖。

圖10是表示將圖9沿X-X向剖開的所述浮起裝置的縱向剖視圖。

圖11是表示將圖8沿XI-XI向剖開的浮起裝置的立面圖。

圖12是表示根據所述第二實施方式的變形例的浮起裝置的立面圖。

具體實施方式

以下結合附圖對本發明的實施方式進行說明。在本說明書、權利要求書及 附圖中，前方、后方、左方及右方分別定義為在圖中以FF、FR、L及R標記 的方向。這些定義僅為方便說明而舉，本發明并不限于這些內容。

浮起傳送系統，是用于將對象物W向垂直方向浮起后向水平傳送方向(例 如，從作為前方的FF朝向作為后方的FR的方向)傳送的裝置。作為對象物 W，優選為全體呈平面狀的比較薄的物體，例如LCD(液晶顯示器)用的玻璃基板 等的薄板。對象物W無需全體呈平面狀，只需對象物W下面的至少一部分呈 平面狀即可。為使對象物W浮起，利用例如空氣等的流體。

對象物W，如果該物需要在LCD用的薄玻璃基板等的無塵環境下傳送的 情況下，所述浮起傳送系統1可在無塵室等的無塵環境下使用。