[發(fā)明專利]壓力計(jì)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200880018606.0 | 申請(qǐng)日： | 2008-06-04 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN101711348A | 公開(kāi)（公告）日： | 2010-05-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 金·范樂(lè);約瑟夫·T·M·范貝克 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | NXP股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G01L9/00 | 分類號(hào)： | G01L9/00;G01L21/00;G01D5/00;H03H3/00 |
| 代理公司： | 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021 | 代理人： | 王波波 |
| 地址： | 荷蘭艾*** | 國(guó)省代碼： | 荷蘭;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 壓力計(jì) | ||
1.一種壓力感測(cè)方法，該方法包括：
將MEMS壓阻式諧振器(8)驅(qū)動(dòng)為諧振；
對(duì)MEMS壓阻式諧振器(8)施加焦耳加熱；以及
感測(cè)可變參數(shù)，所述可變參數(shù)響應(yīng)于MEMS壓阻式諧振器(8)的諧振頻率依賴MEMS壓阻式諧振器(8)的溫度的趨勢(shì)而變化，所述MEMS壓阻式諧振器(8)的溫度依賴于壓力。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述可變參數(shù)是MEMS壓阻式諧振器(8)的諧振頻率或MEMS壓阻式諧振器(8)的諧振頻率的變化。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述可變參數(shù)是從反饋回路中得到的，所述反饋回路被布置為與MEMS壓阻式諧振器(8)的諧振頻率依賴MEMS壓阻式諧振器(8)的溫度的趨勢(shì)相反地向MEMS壓阻式諧振器(8)提供變化的感測(cè)電流(22)，以保持諧振頻率恒定，所述MEMS壓阻式諧振器(8)的溫度依賴于壓力。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其中，所述可變參數(shù)是反饋回路中在時(shí)間上積分的反饋信號(hào)(82)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其中，所述可變參數(shù)是與MEMS壓阻式諧振器(8)的諧振頻率依賴MEMS壓阻式諧振器(8)的溫度的趨勢(shì)相反變化以保持諧振頻率恒定的感測(cè)電流(22)的分量(94)，所述MEMS壓阻式諧振器(8)的溫度依賴于壓力。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的方法，還包括：驅(qū)動(dòng)位于MEMS壓阻式諧振器(8)附近的參考MEMS電容諧振器(62)，以及利用參考MEMS電容諧振器(62)的輸出來(lái)補(bǔ)償感測(cè)的可變參數(shù)。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，還包括：驅(qū)動(dòng)位于MEMS壓阻式諧振器(8)附近的參考MEMS電容諧振器(62)，以及利用參考MEMS電容諧振器(62)的輸出來(lái)補(bǔ)償感測(cè)的可變參數(shù)，其中，使所述感測(cè)電流(22)變化，以保持MEMS壓阻式諧振器(8)的諧振頻率與參考MEMS電容諧振器(62)的諧振頻率相同。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中，所述參考MEMS電容諧振器(62)被布置為與MEMS壓阻式諧振器(8)相鄰。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中，所述參考MEMS電容諧振器(62)在結(jié)構(gòu)上與MEMS壓阻式諧振器(8)相同。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中，所述參考MEMS電容諧振器(62)被集成在與MEMS壓阻式諧振器(8)的襯底相同的襯底上。
11.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的方法，其中，所感測(cè)的壓力是真空壓力。
12.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的方法，其中，所述感測(cè)的壓力是MEMS的微腔內(nèi)的壓力，所述MEMS壓阻式諧振器(8)被集成在該微腔內(nèi)。
13.一種壓力傳感器，包括：
MEMS壓阻式諧振器(8)；以及
用于確定可變參數(shù)的裝置，所述可變參數(shù)響應(yīng)于MEMS壓阻式諧振器(8)的諧振頻率依賴MEMS壓阻式諧振器(8)的溫度的趨勢(shì)而變化，所述MEMS壓阻式諧振器(8)的溫度依賴于壓力。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的壓力傳感器，其中，用于確定可變參數(shù)的所述裝置包括用于測(cè)量MEMS壓阻式諧振器(8)的諧振頻率或MEMS壓阻式諧振器(8)的諧振頻率的變化的頻率計(jì)數(shù)器(56)。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的壓力傳感器，其中，用于確定可變參數(shù)的所述裝置包括反饋回路，所述反饋回路被布置為與MEMS壓阻式諧振器(8)的諧振頻率依賴MEMS壓阻式諧振器(8)的溫度的趨勢(shì)相反地向MEMS壓阻式諧振器(8)提供變化的感測(cè)電流(22)，以保持諧振頻率恒定，所述MEMS壓阻式諧振器(8)的溫度依賴于壓力。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的壓力傳感器，其中，所述可變參數(shù)是反饋回路中在時(shí)間上積分的反饋信號(hào)(82)。
17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的壓力傳感器，其中，所述可變參數(shù)是與MEMS壓阻式諧振器(8)的諧振頻率依賴MEMS壓阻式諧振器(8)的溫度的趨勢(shì)相反地變化以保持諧振頻率恒定的感測(cè)電流(22)的分量(94)，所述MEMS壓阻式諧振器(8)的溫度依賴于壓力。
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