[發明專利]抗反射涂料組合物

無效

• 申請號: 200880015882.1
• 申請日: 2008-05-09
• 公開（公告）號: CN101959980A
• 公開（公告）日: 2011-01-26
• 發明（設計）人: 莊弘;單檻會;向中;吳恒鵬;殷建
• 申請（專利權）人: AZ電子材料美國公司
• 主分類號: C09D167/00
• 分類號: C09D167/00;C09D171/00;G03F7/09;H01L21/00
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 王健

1.抗反射涂料組合物，其能形成薄膜且適合涂布于襯底上，其中該抗反射涂料組合物包含樹脂混合物，該樹脂混合物至少包含第一樹脂和第二樹脂，其中調節第一樹脂和第二樹脂的量以使得由該抗反射涂料組合物形成的薄膜具有處于由客戶要求的或由模擬確定的折射率(n)±0.1的范圍內的折射率(n)和處于由客戶要求的或由模擬確定的吸收系數(k)±0.02的范圍內的吸收系數(k)。

2.權利要求1的抗反射涂料組合物，其中，第一樹脂和第二樹脂各自獨立地選自聚酯和聚醚。

3.權利要求1或2的抗反射涂料組合物，其中，該抗反射涂料組合物進一步包含交聯劑，其優選自四羥甲基甘脲、四丁氧基甲基甘脲、四甲氧基甲基甘脲、部分羥甲基化(methoylated)的甘脲、四甲氧基甲基甘脲、二甲氧基甲基甘脲、二羥甲基甘脲的單-和二甲醚、四羥甲基甘脲的三甲醚、四羥甲基甘脲的四甲醚、四乙氧基甲基甘脲、四丙氧基甲基甘脲、四丁氧基甲基甘脲、四戊氧基甲基甘脲、四己氧基甲基甘脲、以及它們的混合物。

4.權利要求2或3的抗反射涂料組合物，其中，該聚酯包含至少一個選自下述的單元：

和

其中，Y為1-約10個碳原子的烴基連接基，R、R₁、R’和R”獨立地為氫、1-約10個碳原子的烴基、鹵素、-O(CO)Z、-C(CF₃)₂Z、-C(CF₃)₂(CO)OZ、-SO₂CF₃、-(CO)OZ、-SO₃Z、-COZ、-OZ、-NZ₂、-SZ、-SO₂Z、-NHCOZ、-NZCOZ或-SO₂NZ₂，其中Z為H或1-約10個碳原子的烴基，n＝1-4，n’＝1-4，X為O、CO、S、COO、CH₂O、CH₂COO、SO₂、NH、NL、OWO、OW、WO、WOW、W，且其中L為未取代或取代的烴基，以及W為未取代或取代的亞烴基，且m＝0-3。

5.權利要求4的抗反射涂料組合物，其中，烴基選自取代的或未取代的線性或支化的脂族(C₁-C₅₀)烷基、取代的或未取代的線性或支化的脂族(C₁-C₅₀)亞烷基、取代的或者未取代的線性或支化的硫代亞烷基脂族(C₁-C₅₀)基團、取代的或者未取代的亞環烷基、取代的或者未取代的芐基、烷氧基亞烷基、烷氧基芳基、取代的芳基、雜亞環烷基、雜芳基、氧代環己基、環內酯、芐基、取代的芐基、羥基烷基、羥基烷氧基、烷氧基烷基、烷氧基芳基、烷基芳基、鏈烯基、取代的芳基、雜環烷基、雜芳基、硝基烷基、鹵代烷基、烷基酰亞胺、烷基酰胺、以及它們的混合物。

6.權利要求4或5的抗反射涂料組合物，其中，Y選自亞甲基、亞乙基、亞丙基、亞丁基、苯基亞乙基、烷基硝基亞烷基、二硫代亞辛基、溴代硝基亞烷基、苯基、萘基、以及它們的衍生物，以及優選選自1-苯基-1，2-亞乙基、2-溴-2-硝基-1，3-亞丙基、2-溴-2-甲基-1，3-亞丙基、3，6-二硫代-1，8-亞辛基、-CH₂OCH₂-、-CH₂CH₂OCH₂CH₂-、-CH₂CH₂SCH₂CH₂-或-CH₂CH₂SCH₂CH₂SCH₂CH₂-。