[發(fā)明專利]壓電多層器件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200880015667.1
• 申請日: 2008-05-09
• 公開（公告）號: CN101730944A
• 公開（公告）日: 2010-06-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: B·多爾加斯特;A·格拉朱諾夫;O·德諾夫塞克
• 申請（專利權(quán)）人: 埃普科斯股份有限公司
• 主分類號: H01L41/083
• 分類號: H01L41/083
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 胡莉莉;李家麟

1.一種壓電多層器件(1)，其包括基體(2)，該基體(2)具 有交替相疊布置的壓電陶瓷層(3)和電極層(4)的堆，其中，該堆 的相鄰的壓電陶瓷層(3)彼此張緊并且應(yīng)力垂直于堆方向走向，其中 電極層和壓電陶瓷層被共同燒結(jié)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電多層器件，其中，相鄰的壓電陶瓷 層(3)承受相互的拉應(yīng)力。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電多層器件，其中，被布置在兩 個其它的壓電陶瓷層(3)之間的壓電陶瓷層(3)相對所述兩個其它 的壓電陶瓷層(3)張緊。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電多層器件，其中，堆的相鄰的 壓電陶瓷層(3)具有不同的燒結(jié)收縮特性。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電多層器件(1)，其中，相鄰 的壓電陶瓷層(3)具有不同的陶瓷粒度分布。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電多層器件(1)，所述壓電多 層器件(1)具有平坦的外表面。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電多層器件(1)，其中，相鄰 的壓電陶瓷層(3)的材料具有不同的煅燒溫度。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的壓電多層器件，其中，相鄰的壓電陶瓷 層(3)的材料的煅燒溫度相差在80℃到120℃之間。

9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電多層器件(1)，其中，相鄰 的壓電陶瓷層(3)包含不同的摻雜物，所述摻雜物影響其之間的相對 的機(jī)械應(yīng)力。

10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓電多層器件(1)，其中，相鄰的壓 電陶瓷層(3)包含不同的摻雜物，所述摻雜物影響其相應(yīng)的燒結(jié)收縮 特性。

11.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電多層器件(1)，其中，相鄰 的壓電陶瓷層(3)包含不同的燒結(jié)輔助劑。

12.一種用于制造壓電多層器件的方法，其中：

-提供具有不同大小的陶瓷顆粒的不同的壓電陶瓷混合物，

-粘結(jié)劑分別與不同的壓電陶瓷混合物相混合，

-不同的壓電陶瓷混合物被處理成不同的生膜，

-生膜被印有電極層，

-被印有電極層的生膜被切割成型，并且被印有電極層的生膜相疊 地堆疊成堆來使得該堆的相鄰的壓電陶瓷層具有不同的粒度分布，

-該堆被脫離并且接著被燒結(jié)成單片的器件，其中

-在燒結(jié)期間，該堆的層經(jīng)受不同的燒結(jié)收縮。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其中，堆在燒結(jié)期間所遭受的 溫度在燒結(jié)時段上被控制來使得每個層在堆的燒結(jié)過的和已冷卻的狀 態(tài)下達(dá)到形狀，以使層的橫向尺寸能被比較，從而形成具有平坦的外 表面的堆。

14.根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的方法，其中，相鄰的壓電陶瓷 層的材料成分被選擇為使得其煅燒溫度相差在80℃到120℃之間。

15.根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的方法，其中，提供壓電陶瓷混 合物來使得相鄰的壓電陶瓷層的粒度相差在1.1μm到1.6μm之間。