[發明專利]使用太赫輻射的成像方法和裝置有效
| 申請號: | 200880013117.6 | 申請日: | 2008-08-27 |
| 公開(公告)號: | CN101663575A | 公開(公告)日: | 2010-03-03 |
| 發明(設計)人: | 笠井信太郎;尾內敏彥 | 申請(專利權)人: | 佳能株式會社 |
| 主分類號: | G01N21/35 | 分類號: | G01N21/35 |
| 代理公司: | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人: | 羅銀燕 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 使用 輻射 成像 方法 裝置 | ||
1.一種使用太赫波的成像方法,包括:
產生太赫波的產生步驟;
使用在所述產生步驟中產生、并且透射穿過檢查對象或被所述檢 查對象反射的太赫波來獲取所述檢查對象的第一傅立葉變換圖像的步 驟;
獲取要被用作所述第一傅立葉變換圖像的空間頻率濾波器的第二 傅立葉變換圖像的步驟;
對所述第一傅立葉變換圖像和所述第二傅立葉變換圖像執行算術 運算處理的步驟;以及
獲取在執行算術運算處理的步驟中所獲取的圖像的逆傅立葉變換 圖像的步驟,
其中,獲取第二傅立葉變換圖像的步驟包括:
產生具有與在所述產生步驟中被產生以獲取所述第一傅立葉 變換圖像的太赫波不同的中心頻率的第二太赫波的步驟;以及
光學地獲取透射穿過所述檢查對象或被所述檢查對象反射的 所述第二太赫波的傅立葉變換圖像的步驟,以及
其中,在對所述第一傅立葉變換圖像和所述第二傅立葉變換圖像 執行算術運算處理的步驟中,從所述第一傅立葉變換圖像光學地去除 或通過電學算術運算處理而減去所述第二傅立葉變換圖像。
2.一種使用太赫波的成像方法,包括:
產生太赫波的產生步驟;
使用在所述產生步驟中產生、并且透射穿過檢查對象或被所述檢 查對象反射的太赫波來獲取所述檢查對象的第一傅立葉變換圖像的步 驟;
獲取要被用作所述第一傅立葉變換圖像的空間頻率濾波器的第二 傅立葉變換圖像的步驟;
對所述第一傅立葉變換圖像和所述第二傅立葉變換圖像執行算術 運算處理的步驟;以及
獲取在執行算術運算處理的步驟中所獲取的圖像的逆傅立葉變換 圖像的步驟,
其中,獲取第二傅立葉變換圖像的步驟包括:
通過可見光獲取所述檢查對象的實像的步驟;
獲取通過可見光獲取的所述實像的二值化圖像的步驟;以及
通過電學算術運算處理使二值化的實像經受傅立葉變換的步 驟,以及
其中,在對所述第一傅立葉變換圖像和所述第二傅立葉變換圖像 執行算術運算處理的步驟中,從所述第一傅立葉變換圖像光學地去除 或通過電學算術運算處理而減去所述第二傅立葉變換圖像。
3.根據權利要求1或2的成像方法,其中,所述成像方法還包括 使產生的太赫波準直的步驟,并且,所述第一傅立葉變換圖像被光學 地獲取。
4.根據權利要求1或2的成像方法,其中,獲取第一傅立葉變換 圖像的步驟包括:
使用在所述產生步驟中產生、并且透射穿過所述檢查對象或被所 述檢查對象反射的太赫波來光學地獲取所述檢查對象的實像的步驟; 和
通過電學算術運算處理使光學地獲取的所述實像經受傅立葉變換 的步驟。
5.一種成像裝置,包括:
用于用包含30GHz至30THz的頻率成分的準直相干電磁波照射 檢查對象的機構;
用于通過光學單元使用來自所述檢查對象的透射電磁波或反射電 磁波來獲取所述檢查對象的傅立葉變換圖像的機構;
用于對所述傅立葉變換圖像執行空間頻率濾波處理的機構;以及
用于對經受了所述空間頻率濾波處理的所述傅立葉變換圖像執行 逆傅立葉變換的機構,
其中,用于獲取傅立葉變換圖像的機構適于使用來自所述檢查對 象的第一電磁波獲取所述檢查對象的第一傅立葉變換圖像,并適于使 用來自所述檢查對象的第二電磁波獲取所述檢查對象的第二傅立葉變 換圖像,所述第一電磁波和所述第二電磁波具有相互不同的中心頻率, 以及
其中,用于執行空間頻率濾波處理的機構適于從所述第一傅立葉 變換圖像光學地去除或通過電學算術運算處理而減去所述第二傅立葉 變換圖像。
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