[發明專利]聚酰亞胺前體和聚酰亞胺以及形成圖像的下層膜涂布液

有效

• 申請號: 200880012948.1
• 申請日: 2008-04-24
• 公開（公告）號: CN101663348A
• 公開（公告）日: 2010-03-03
• 發明（設計）人: 前田真一;飯沼洋介
• 申請（專利權）人: 日產化學工業株式會社
• 主分類號: C08G73/10
• 分類號: C08G73/10;G03F7/004;H01L21/027
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所
• 代理人: 段承恩;田 欣

1.具有下述式(1)所示結構的聚酰亞胺前體，

上式中，A表示4價有機基團，B表示下述式(2)所示的2價有機基團， R¹和R²各自獨立地表示氫原子或一價有機基團，n表示自然數，

上式中，X和Y各自獨立地表示芳香族環或脂肪族環，它們可以被鹵 素原子或者碳原子數1～4的烷基取代。

2.如權利要求1所述的聚酰亞胺前體，所述式(1)的A表示具有脂肪 族環或僅由脂肪族構成的4價有機基團。

3.如權利要求1所述的聚酰亞胺前體，所述聚酰亞胺前體是由下述式 (3)所示的四羧酸二酐及其衍生物中的至少一種、與下述式(4)所示的二胺中 的至少一種聚合而得的，

上式中，A表示4價有機基團，B表示下述式(2)所示的2價有機基團，

上式中，X和Y各自獨立地表示芳香族環或脂肪族環，它們可以被鹵 素原子或者碳原子數1～4的烷基取代。

4.將權利要求1～3的任一項所述的聚酰亞胺前體脫水環化而得的聚 酰亞胺。

5.一種形成圖像的下層膜涂布液，含有選自權利要求1～3的任一項 所述的聚酰亞胺前體、和權利要求4所述的聚酰亞胺中的至少一種化合物。

6.使權利要求5所述的形成圖像的下層膜涂布液固化而得的固化膜。

7.使用權利要求5所述的形成圖像的下層膜涂布液得到的圖像形成用 下層膜。

8.使用權利要求5所述的形成圖像的下層膜涂布液得到的電極圖案形 成用下層膜。

9.使用權利要求5所述的形成圖像的下層膜涂布液得到的柵極絕緣 膜。

10.一種圖像形成用下層膜的形成方法，包括將權利要求5所述的形 成圖像的下層膜涂布液涂布在基板上，使其熱固化，然后照射紫外線的工 序。