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[發明專利]碳質坩堝的保護方法以及單晶拉制裝置有效

專利信息
申請號: 200880010903.0 申請日: 2008-04-04
公開(公告)號: CN101652504A 公開(公告)日: 2010-02-17
發明(設計)人: 廣瀨芳明;幸哲也 申請(專利權)人: 東洋炭素株式會社
主分類號: C30B15/10 分類號: C30B15/10
代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 代理人: 李貴亮
地址: 日本國*** 國省代碼: 日本;JP
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 坩堝 保護 方法 以及 拉制 裝置
【權利要求書】:

1.一種碳質坩堝的保護方法,將由膨脹石墨材料構成的保護膜夾設在石英坩堝和載置該石英坩堝的碳質坩堝之間,所述保護膜在所述石英坩堝和所述碳質坩堝之間的鋪設中,將兩個以上構成的保護膜片組合為一體的形狀而鋪設在碳質坩堝的內表面,其中,?

所述保護膜片具備在鋪設于碳質坩堝的內表面的狀態下固定彼此相鄰的保護膜片的固定機構,?

所述固定機構是:在相鄰的保護膜片中的一方的保護膜片的端部設置凸部,在另一方的保護膜片的端部設置與所述凸部嵌合的凹部,將所述凸部插入所述凹部的結構;或者是在一方的保護膜片的端部設置裂縫,將另一方的保護膜片的端部插入該裂縫的結構。?

2.根據權利要求1所述的碳質坩堝的保護方法,其中,?

所述保護膜片被分割為球面狀的底部和內周部,并且進一步將內周部分割為多個。?

3.根據權利要求1或2所述的碳質坩堝的保護方法,其中,?

在所述碳質坩堝的內表面,相鄰的保護膜片彼此大致無間隙地鋪設。?

4.根據權利要求1或2所述的碳質坩堝的保護方法,其中,?

所述碳質坩堝由碳纖維強化碳復合材料構成,所述保護膜片以覆蓋碳質坩堝的全部內表面的方式鋪設。?

5.根據權利要求1或2所述的碳質坩堝的保護方法,其中,?

所述碳質坩堝由石墨材料構成且分別將分割為多個的坩堝部分對接而成,所述保護膜片由膨脹石墨膜構成且以至少覆蓋對接部的方式鋪設在碳質坩堝的內表面。?

6.根據權利要求5所述的碳質坩堝的保護方法,其中,?

所述保護膜沿著所述對接部鋪設。?

7.一種單晶拉制裝置,其使用了權利要求1~6中任一項所述的碳質坩堝的保護方法。?

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