[發(fā)明專利]用于測(cè)量質(zhì)量流控制器中的氣體的溫度的方法和裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200880010691.6
• 申請(qǐng)日: 2008-02-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101652591A
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-02-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 伊藤祐之;M·J.·佐洛克
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 先進(jìn)能源工業(yè)公司
• 主分類號(hào): F16K17/38
• 分類號(hào): F16K17/38
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司
• 代理人: 鐘勝光;王 英

1.一種用于測(cè)量質(zhì)量流控制器中的氣體的溫度的方法，

所述方法包括：

向所述質(zhì)量流控制器的熱質(zhì)量流傳感器提供基本恒定的電流，所述熱質(zhì)量流傳感器被設(shè)計(jì)為測(cè)量所述氣體的質(zhì)量流率，其中所述熱質(zhì)量流傳感器包括：當(dāng)氣體流經(jīng)所述質(zhì)量流控制器時(shí)，基本恒定比例的所述氣體流經(jīng)其中的管；分別在沿所述管的第一和第二位置處繞所述管的外側(cè)周圍纏繞的第一和第二阻抗-溫度計(jì)元件；以及具有第一、第二、第三和第四節(jié)點(diǎn)的橋式電路，將第一預(yù)定阻抗組件連接在所述第一和第二節(jié)點(diǎn)之間，將第二預(yù)定阻抗組件連接在所述第二和第三節(jié)點(diǎn)之間，將所述第一阻抗-溫度計(jì)元件連接在所述第一和第四節(jié)點(diǎn)之間，將所述第二阻抗-溫度計(jì)元件連接在所述第四和第三節(jié)點(diǎn)之間，其中，所述第三節(jié)點(diǎn)處于預(yù)定的參考電勢(shì)，并且在所述第一節(jié)點(diǎn)處相對(duì)于所述第三節(jié)點(diǎn)測(cè)量輸入電壓；

測(cè)量在第一預(yù)定流量情況下的所述輸入電壓以獲得第一電壓V₁；以及

測(cè)量在第二預(yù)定流量情況下的所述輸入電壓以獲得第二電壓V₂，其中，所述第一預(yù)定流量情況為零流量情況，并且所述第二預(yù)定流量情況為最大流量情況；

從所述第一電壓中減去所述第二電壓以獲得電壓差；

測(cè)量當(dāng)所述質(zhì)量流控制器的基座處于預(yù)定的上限溫度T_U時(shí)的所述輸入電壓以獲得第三電壓V₃；以及

測(cè)量當(dāng)所述質(zhì)量流控制器的基座處于預(yù)定的下限溫度T_L時(shí)的所述輸入電壓以獲得第四電壓V₄；

測(cè)量所述熱質(zhì)量流傳感器的輸入電壓以獲得當(dāng)前輸入電壓，所述輸入電壓隨所述熱質(zhì)量流傳感器的一對(duì)感測(cè)元件之間的溫度差而變化；

確定與所述質(zhì)量流控制器的當(dāng)前操作點(diǎn)相對(duì)應(yīng)的最大流量的分?jǐn)?shù)；以及

通過(guò)將所述電壓差和所述最大流量的分?jǐn)?shù)的平方的乘積與所述當(dāng)前輸入電壓相加來(lái)計(jì)算經(jīng)調(diào)節(jié)的輸入電壓V_A；

基于所述第三和第四電壓以及所述預(yù)定的上限和下限溫度，將所述經(jīng)?調(diào)節(jié)的輸入電壓映射到大于等于所述預(yù)定的下限溫度并且小于等于所述預(yù)定的上限溫度的溫度，以計(jì)算所述氣體的溫度T_G，其中按照以下線性關(guān)系執(zhí)行所述映射：

T_G＝(V_A-V₄)/m+T_L，

其中，m＝(V₃-V₄)/(T_U-T_L)。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，還包括：

基于所計(jì)算出的溫度補(bǔ)償處于零流量情況下的所述熱質(zhì)量流傳感器的輸出電壓的隨溫度的變化。

3.如權(quán)利要求1所述的方法，其中，將所述輸入電壓饋送到模擬-數(shù)字(A/D)轉(zhuǎn)換器，并且根據(jù)所述模擬-數(shù)字轉(zhuǎn)換器的輸出將所述當(dāng)前輸入電壓獲得為數(shù)字值。