[發明專利]水晶振子片及其制造方法

無效

• 申請號: 200880009904.3
• 申請日: 2008-03-26
• 公開（公告）號: CN101657965A
• 公開（公告）日: 2010-02-24
• 發明（設計）人: 加藤晶子;森谷卓
• 申請（專利權）人: 西鐵城控股株式會社
• 主分類號: H03H9/215
• 分類號: H03H9/215;G01C19/56;G01P9/04;H01L41/09;H01L41/18;H01L41/22;H03H3/02;H03H9/19;H01L21/306
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 何騰云

1.一種水晶振子片的制造方法，所述水晶振子片包括具有第一側 面和第二側面的振動腿，其特征在于，具有：

在水晶片的表面上形成第一蝕刻掩模，并在所述水晶片的背面上 形成第二蝕刻掩模；

通過用蝕刻溶液進行浸漬，將未被所述第一蝕刻掩模和所述第二 蝕刻掩模覆蓋的部分的水晶溶解，從而形成所述振動腿的步驟，

在所述第二蝕刻掩模中，從與所述第一蝕刻掩模的第一端部對應 的位置突出的第一突出部的長度被設定成，使形成在所述第一側面側 的第一殘渣固定不變，而跟所述第一蝕刻掩模與所述第二蝕刻掩模的 錯位無關，

所述第一和第二蝕刻掩模，對形成在所述第二側面側的第二殘渣 進行調整，從而使穿過與所述振動腿的縱向正交的截面的圖心的兩個 主軸中的一方，被形成為與所述水晶片的表面或背面大致平行。

2.如權利要求1所述的水晶振子片的制造方法，其特征在于，當 所述第一蝕刻掩模的寬度形成得比所述第二蝕刻掩模的寬度小、所述 水晶片的厚度為t、所述第一側面側的蝕刻角度為α時，以在所述第 一側面側，使所述第一突出部的長度b滿足

b＞t×tanα

的關系的方式，把所述第一蝕刻掩模和所述第二蝕刻掩模形成在所述 水晶片上。

3.如權利要求2所述的水晶振子片的制造方法，其特征在于，當 所述第一蝕刻掩模與所述第二蝕刻掩模的位置對齊精度為p、且所述 第二蝕刻掩模的第一側面側的掩膜偏置量為k時，以使所述第一突出 部的長度b滿足

b＝t×tanα+k

k＞p

的關系的方式，把所述第一蝕刻掩模和所述第二蝕刻掩模形成在所述 水晶片上。

4.如權利要求1～3中的任一項所述的水晶振子片的制造方法， 其特征在于，當所述第一蝕刻掩模的寬度形成得比所述第二蝕刻掩模 的寬度小、所述水晶片的厚度為t、所述第一側面側的蝕刻角度為α 時，以在所述第二側面側，使所述第二蝕刻掩模中的從與所述第一蝕 刻掩模的第二端部對應的位置突出的第二突出部的長度c滿足

c＜t×tanα

的關系的方式，把所述第一蝕刻掩模和所述第二蝕刻掩模形成在所述 水晶片上。

5.如權利要求4所述的水晶振子片的制造方法，其特征在于，當 所述第一蝕刻掩模的寬度形成得比所述第二蝕刻掩模的寬度小、所述 水晶片的厚度為t、所述第二側面側的蝕刻角度為α時，以在所述第 二側面側，使所述第二蝕刻掩模中的從與所述第一蝕刻掩模的第二端 部對應的位置突出的第二突出部的長度c滿足

c＝0.7×t×tanα

的關系的方式，把所述第一蝕刻掩模和所述第二蝕刻掩模形成在所述 水晶片上。

6.一種水晶振子片，所述水晶振子片從水晶片的表背兩面通過蝕 刻進行加工，其特征在于，具有：

被形成為寬度相互不同而且大致平行的表面和背面，

具有形成在所述表面和所述背面之間的第一側面和第二側面的振 動腿，

配置在所述第一側面側、在一個斜面固定不變地形成的第一殘渣，

和配置在所述第二側面側的第二殘渣，

所述第二殘渣被調整成，使穿過與所述振動腿的縱向正交的截面 的圖心的兩個主軸中的一方，被形成為與所述表面或所述背面大致平 行。