[發(fā)明專利]減壓式加熱裝置及其加熱方法和電子產品的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200880009138.0
• 申請日: 2008-12-08
• 公開（公告）號: CN101642003A
• 公開（公告）日: 2010-02-03
• 發(fā)明（設計）人: 大井宗太郎;松浦昌也;久保田友幸;鶴田昌也
• 申請（專利權）人: 豐田自動車株式會社;平田機工株式會社
• 主分類號: H05K3/34
• 分類號: H05K3/34;B23K1/00;G01J5/10;G01K13/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司
• 代理人: 雒運樸;李 偉

1.一種減壓式加熱裝置，其具有形成有排氣口的加熱處理室，將配置于上述加熱處理室內的加熱對象物，在大氣壓下預熱至預熱溫度為止，在減壓狀態(tài)下加熱處理到比上述預熱溫度高的溫度為止，其特征在于，

包括：

加熱器，其對上述加熱處理室內的加熱對象物進行加熱；

接觸式溫度測定部，其以接觸方式測定上述加熱處理室內的加熱對象物的溫度；

非接觸式溫度測定部，其以非接觸方式測定上述加熱處理室內的加熱對象物的溫度；

控制部，其進行上述加熱器的控制及上述非接觸式溫度測定部的調整，

在大氣壓下進行預熱時，上述控制部調整上述非接觸式溫度測定部，以便消除上述非接觸式溫度測定部的測定值相對于上述接觸式溫度測定部的測定值的誤差，

在減壓狀態(tài)下進行加熱處理時，上述控制部根據該調整后狀態(tài)的上述非接觸式溫度測定部的測定值，控制上述加熱器。

2.根據權利要求1所述的減壓式加熱裝置，其特征在于，

上述非接觸式溫度測定部為檢測從加熱對象物放射出的紅外線的放射溫度計，

在大氣壓下進行預熱時，上述控制部調整上述放射溫度計中的放射率的設定。

3.根據權利要求1所述的減壓式加熱裝置，其特征在于，

上述非接觸式溫度測定部為檢測從加熱對象物放射出的紅外線的放射溫度計，

在大氣壓下進行預熱時，上述控制部調整上述放射溫度計的輸出值的修正系數(shù)。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的減壓式加熱裝置，其特征在于，

在上述加熱處理室形成有氣體導入口，

該減壓式加熱裝置具有通過上述氣體導入口向上述加熱處理室內導入氣氛氣體的氣體供給部。

5.根據權利要求4所述的減壓式加熱裝置，其特征在于，在上述加熱處理室內部導入有還原性的氣氛氣體的狀態(tài)下，進行大氣壓下的預熱。

6.根據權利要求1至3中任一項所述的減壓式加熱裝置，其特征在于，包括排氣裝置，該排氣裝置與上述排氣口相連接，并從上述加熱處理室的內部排氣而進行減壓。

7.根據權利要求4所述的減壓式加熱裝置，其特征在于，包括排氣裝置，該排氣裝置與上述排氣口相連接，并從上述加熱處理室的內部排氣而進行減壓。

8.根據權利要求5所述的減壓式加熱裝置，其特征在于，包括排氣裝置，該排氣裝置與上述排氣口相連接，并從上述加熱處理室的內部排氣而進行減壓。

9.一種加熱方法，利用接觸式溫度測定部和非接觸式溫度測定部控制溫度的同時加熱對象物，該非接觸式溫度測定部為檢測從加熱對象物放射出的紅外線的放射溫度計，其特征在于，

在大氣壓的還原氣體的氣氛中，利用上述接觸式溫度測定部的測定值，調整上述放射溫度計中的放射率的設定，并控制上述對象物的溫度，同時加熱上述對象物到低于加熱處理溫度的預熱溫度為止，

在減壓狀態(tài)下，利用上述非接觸式溫度測定部的測定值，來控制上述對象物的溫度，同時進一步加熱上述對象物到加熱處理溫度為止，其中上述非接觸式溫度測定部的測定值是在到上述預熱溫度為止的加熱過程中，與上述對象物的放射率變化相對應地，使放射溫度計中的放射率的設定對其跟蹤而調整后的值。

10.一種電子制品的制造方法，將由多個接合部件構成的對象物，在減壓狀態(tài)下加熱而進行錫焊接合，其特征在于，

在大氣壓的還原氣體的氣氛中，利用接觸式溫度測定部的測定值，調整非接觸式溫度測定部中的放射率的設定，并控制上述對象物的溫度，同時加熱上述對象物到焊料不會熔融的預熱溫度為止，該非接觸式溫度測定部為檢測從加熱對象物放射出的紅外線的放射溫度計，

并且進行減壓，

在減壓狀態(tài)下，利用上述非接觸式溫度測定部的測定值，來控制上述對象物的溫度，同時進一步加熱上述對象物到焊料熔融的加熱處理溫度為止，其中上述非接觸式溫度測定部的測定值是在到上述預熱溫度為止的加熱過程中，與上述對象物的放射率變化相對應地，使放射溫度計中的放射率的設定對其跟蹤而調整后的值，

維持上述對象物的加熱處理溫度，同時將氣氛壓力恢復至大氣壓為止，在大氣壓下，使焊料凝固并對上述對象物進行錫焊接合。