[發明專利]壓電執行器以及制造壓電執行器的方法

有效

• 申請號: 200880005535.0
• 申請日: 2008-02-19
• 公開（公告）號: CN101647131A
• 公開（公告）日: 2010-02-10
• 發明（設計）人: A·多納-賴塞爾
• 申請（專利權）人: 歐陸汽車有限責任公司
• 主分類號: H01L41/083
• 分類號: H01L41/083;H01L41/047;H01L41/22
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 張 濤;劉春元

1.一種用于制造壓電執行器的方法，包括下列方法步驟：

-提供全活性壓電堆(1)，該全活性壓電堆(1)具有交替疊置的壓電層 (2)和一直貫通到壓電堆(1)的外側(5，6)的內電極(3，4)，所述內電極 (3，4)分別具有難以或者無法附著涂層(70)的第一區域(31)和易于附著涂 層(80)的第二區域(32)，其中設置所述內電極(3，4)，使得壓電執行器 (9)的第一外電極(10)和第二外電極(11)交替接觸內電極(3，4)的第一 區域(31)，

-至少在對應于壓電執行器(9)的外電極(10，11)的區域中用所述涂層 (70)完全涂覆全活性壓電堆(1)的外側(5，6)，

-在緊鄰內電極(3，4)的第一區域(31)的區域中去除該涂層(70)， 并且

-將兩個外電極(10，11)敷設到涂層(80)上，使得外電極(10，11) 接觸內電極(3，4)的第一區域(31)，并且此外將涂層(80)布置在內電極 (3，4)和外電極(10，11)之間。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，通過交替疊置至少兩個子 堆的方式來制造所提供的壓電堆(1)，其中每一個子堆均具有壓電層(2)和 布置在壓電層上的內電極(3，4)。

3.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，吹刷、氧化和/或沖 洗從壓電堆(1)去除的涂層(70)的涂層殘留物。

4.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，交替疊置的內電極(3， 4)的第一和第二區域(31，32)分別相對旋轉180°。

5.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，內電極(3，4)在其 第二區域(32)中具有實施為碳化物形成劑的材料。

6.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，通過使用至少兩種不 同的電極漿料(51，52)涂敷壓電層(2)來制造內電極(3，4)，第一種電極 漿料(51)對應于第一區域(31)并且提供對涂層(70)的較差附著性或者不 能附著于涂層(70)，第二種電極漿料(52)則對應于第二區域(32)并且提 供對涂層(70，80)的良好附著性。

7.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，內電極(3，4)具有 銅。

8.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，涂層(70，80)具有 無定形結構。

9.根據權利要求8所述的方法，其特征在于，所述涂層(70，80)是基 于碳的層。

10.根據權利要求9所述的方法，其特征在于，所述涂層(70，80)是類 金剛石碳層。

11.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，外電極(10，11)布 置在壓電堆(1)的兩個相對的外側(5，6)上。

12.一種壓電執行器，具有

-第一和第二外電極(10，11)，

-全活性壓電堆(1)，具有交替疊置的壓電層(2)和一直貫通到壓電堆 (1)的外側(5，6)的內電極(3，4)，其中所述內電極(3，4)分別具有難 以或者無法附著涂層(70)的第一區域(31)和易于附著涂層(80)的第二區 域(32)，其中所述內電極(3，4)以其第一區域(31)交替接觸第一和第二 外電極(10，11)，以及

-布置在壓電堆(1)的外側(5，6)上的涂層(80)，在該涂層(80)上 敷設外電極(10，11)，并且在外電極(10，11)接觸內電極(3，4)的區域 中去除該涂層(80)，使得外電極(10，11)接觸內電極(3，4)的第一區域 (31)，并且此外將涂層(80)布置在內電極(3，4)和外電極(10，11)之間，

-內電極(3，4)在其第二區域(32)中具有實施為碳化物形成劑的材料。

13.根據權利要求12所述的壓電執行器，其特征在于，交替疊置的內電 極(3，4)的第一和第二區域(31，32)分別相對旋轉180°。