[發(fā)明專利]以處理級臺耦接機(jī)構(gòu)實施的樣本檢查級臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200880005510.0
• 申請日: 2008-02-15
• 公開（公告）號: CN101657892A
• 公開（公告）日: 2010-02-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: M·T·寇摩斯基;R·佛葛森;J·威利
• 申請（專利權(quán)）人: 伊雷克托科學(xué)工業(yè)股份有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 北京戈程知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 程 偉

1.一種使用激光為基礎(chǔ)的系統(tǒng)來處理及檢查樣本的方法，該方法 包含：

提供一樣本處理級臺，用于在處理與檢查期間在上面安裝有樣本 的一基板上的運動，該樣本處理級臺承載有激光光束傳播路徑導(dǎo)向光 學(xué)元件，所述光學(xué)元件可回應(yīng)于一施加的推動力而在基板上移動；

提供一樣本檢查級臺，用以在基板上的運動，該樣本檢查級臺承 載有光學(xué)檢查裝備，該光學(xué)檢查設(shè)備的特征在于具有很大的質(zhì)量且具 有當(dāng)靜止停靠時的收容位置；

提供一耦接裝置，用以將樣本檢查級臺與樣本處理級臺可釋放地 耦接于彼此；

移動該樣本處理級臺，用以將激光光束相對于該樣本定位而處理 該樣本，且在此之后，定位該耦接裝置，用以將樣本檢查級臺與樣本 處理級臺耦接于彼此；

將耦接的樣本處理級臺與樣本檢查級臺一前一后地移動，用以將 光學(xué)檢查裝備相對于該樣本定位來檢查該樣本，且在此之后，?？吭? 處于收容位置的樣本檢查級臺上；以及

解除樣本處理級臺與樣本檢查級臺的耦接，且在此之后，移動該 樣本處理級臺遠(yuǎn)離?？康臉颖緳z查級臺。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，該耦接裝置是一個包含有 滾珠與V形溝槽的運動安裝架。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，該基板包含一石板。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其中，該石板是由花崗巖所形成。

5.一種用于處理并檢查樣本的設(shè)備，其包含：

一樣本處理級臺，用于在處理與檢查期間在上面安裝有樣本的一 基板上移動，該樣本處理級臺承載有激光光束傳播路徑導(dǎo)向光學(xué)元件， 所述光學(xué)元件可回應(yīng)于一施加的推動力而在該基板上移動；

一樣本檢查級臺，用于在基板上的移動，該樣本檢查級臺承載有 特征在于具有很大的質(zhì)量的光學(xué)檢查裝備；及

一耦接裝置，用以將樣本檢查級臺與樣本處理級臺可釋放地耦接 于彼此。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的設(shè)備，其中，該耦接裝置是一個含有滾 珠與V形溝槽的運動安裝架。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的設(shè)備，其中，該基板包含一石板。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的設(shè)備，其中，該石板是由花崗巖所形成。