[實用新型]一種新型晶體生長爐

無效

• 申請號: 200820227610.5
• 申請日: 2008-12-03
• 公開（公告）號: CN201321511Y
• 公開（公告）日: 2009-10-07
• 發明（設計）人: 邊志堅;趙京通;周衛忠;王瀅贊
• 申請（專利權）人: 河北晶龍陽光設備有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00;C30B11/00;C30B15/00
• 代理公司: 石家莊科誠專利事務所
• 代理人: 王文慶

技術領域

本實用新型涉及一種晶體硅生長爐，尤其是一種新型晶體生長爐。

背景技術

在現有單晶硅加工過程中，根據晶體生長工藝的要求，熔化硅料時，坩堝必須升降于爐室內的加熱區內，晶體生長時坩堝不但要位于加熱區內而且坩堝內液面要與其上方的導流筒保持一定且較近的距離。制備單晶所需的固體多晶硅料多為塊狀，熔化前與熔化后所占空間差別很大，要想讓液面與導流筒保持近距離就必須化完料后再調整兩者位置關系，目前，常用的方法是化料后升降坩堝，但爐室內加熱區范圍較窄，如增加投料量坩堝將降至超出加熱區，坩堝升降幅度受限。

同時，導流筒的底端面通常位于坩堝的區域內，在向導流筒內加固體多晶硅料時則須避開導流筒，使加料量減少，影響了生產效率。

實用新型內容

為了解決現有技術中存在的問題，本實用新型提供了一種可實現導流筒與坩堝距離調節的晶體生長爐。

為實現上述目的，本實用新型的新型晶體生長爐，包括爐體、爐蓋、坩堝、導流筒，坩堝位于爐體內部，導流筒位于爐體內坩堝的上方，爐蓋上安裝有一個導流筒提升機構。

作為對本實用新型的改進，本實用新型的新型晶體生長爐，導流筒提升機構包括支撐套筒、絲杠、連接桿、支架，支撐套筒固裝在爐蓋外部，絲杠穿過支撐套筒端部的頂蓋，絲杠的螺桿部分與連接桿置于支撐套筒內，連接桿桿內設置內螺紋與絲杠的外螺紋相配合，支架與連接桿聯接，導流筒安裝在支架上。

作為對本實用新型的進一步改進，本實用新型的新型晶體生長爐，在絲杠的頂端配裝有轉動手輪，連接桿與支撐套筒間隙處設有軸瓦，位于連接桿軸瓦的上方設有密封波紋管。

該裝置中由于導流筒設有與爐蓋相連的提升機構，可按生產需要將坩堝上方的導流筒進行升降，保證了坩堝內液面要與其上方的導流筒保持了一定距離，同時增大了坩堝的有效空間，使原料裝料量增加約三分之一，從而使產量增加，經濟效益非常明顯。

附圖說明

圖1為本實用新型的新型晶體生長爐的結構圖。

圖2為本實用新型的新型生長爐導流筒提升機構的剖視圖。

具體實施方式

由圖1、圖2可知，本實用新型的新型晶體生長爐，包括爐體1、爐蓋2、坩堝3、導流筒4，坩堝3位于爐體1內部，導流筒4位于爐體1內坩堝3的上方，爐蓋2上安裝有一個導流筒提升機構，導流筒提升機構穿過爐蓋2，一部分位于爐蓋2內部，一部分位于爐蓋2外部，支撐套筒9固裝在爐蓋2外部，絲杠6穿過支撐套筒9端部的頂蓋，絲杠6的螺桿部分與連接桿7置于支撐套筒9內，連接桿7桿內設置內螺紋與絲杠6的外螺紋相配合，支架8與連接桿7聯接，導流筒4安裝在支架8上，在絲杠6的頂端配裝有轉動手輪5，連接桿7與支撐套筒9間隙處設有軸瓦10，位于連接桿軸瓦10的上方設有密封波紋管11。

裝料前，轉動手輪5帶動絲杠6旋轉，通過連接桿7帶動支架8將導流筒4勻速升起后將爐蓋2提升旋開，將硅原料裝入坩堝3后升降到加熱區內，旋合爐蓋2。待原料熔為液體后，轉動手輪5勻速降下導流筒4置于液面上規定位置。

絲杠的上端可用軸承使其轉動靈活省力，上端的支撐套筒9上開有長方形視口，可定期潤滑絲杠副，避免出現卡滯現象。波紋管11連接密封保證爐體內惰性氣體純度。軸瓦10保證了連接桿7滑動順暢、精密。