[實用新型]多晶硅氫還原爐有效
| 申請號： | 200820222841.7 | 申請日： | 2008-11-24 |
| 公開（公告）號： | CN201305653Y | 公開（公告）日： | 2009-09-09 |
| 發明（設計）人： | 戴自忠;張強 | 申請（專利權）人： | 四川永祥多晶硅有限公司 |
| 主分類號： | C30B29/06 | 分類號： | C30B29/06;C01B33/03 |
| 代理公司： | 成都天嘉專利事務所（普通合伙） | 代理人： | 方 強 |
| 地址： | 614800四*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 多晶 還原 | ||
1、多晶硅氫還原爐，包括帶有冷卻裝置的爐殼(1、2)，爐殼安裝在爐盤(6)上；爐盤(6)上布有進、出氣管(11)，進氣管(11)的進氣端上設有噴口(10)，爐盤(6)上設有加熱電極(7)，電極(7)上一一對應安裝有硅芯棒(3)，其特征在于：所述還原爐爐盤(6)下部的進氣管(11)與爐盤(6)上部的噴口(10)為可拆卸式連接，所述噴口(10)為石墨噴口；所述電極(7)與硅芯棒(3)之間通過石墨夾頭(12)固定連接，石墨夾頭(12)的夾瓣和硅芯棒(3)之間設有柔性石墨墊(16)，所述柔性石墨墊(16)設置在石墨夾頭(12)的夾瓣頂部與硅芯棒(3)之間；電極(7)的電極頭外側與石墨夾頭(12)底部的外側設有螺紋，電極(7)的電極頭與石墨夾頭(12)底部之間通過螺母(13)連接。
2、根據權利要求1所述的多晶硅氫還原爐，其特征在于：所述電極(7)的電極頭為正螺紋結構，所述石墨夾頭(12)底部為與電極頭正螺紋結構對應的反螺紋結構，電極頭與石墨夾頭底部之間通過帶有正反內螺紋的螺母(13)連接。
3、根據權利要求1所述的多晶硅氫還原爐，其特征在于：所述電極(7)的電極頭為反螺紋結構，所述石墨夾頭(12)底部為與電極頭反螺紋結構對應的正螺紋結構，電極頭與石墨夾頭底部之間通過帶有正反內螺紋的螺母(13)連接。
4、根據權利要求1、2或3所述的多晶硅氫還原爐，其特征在于：所述還原爐爐盤(6)下部的進氣管(11)與爐盤(6)上部的噴口(10)之間采用螺紋連接或扣接或插入式連接。
5、根據權利要求1、2或3所述的多晶硅氫還原爐，其特征在于：所述柔性石墨墊(16)厚度為0.5～1mm，寬度為15～20mm，所述柔性石墨墊(16)為至少一圈。
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