[實用新型]動鏡環(huán)形干涉儀

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200820221797.8
• 申請日: 2008-10-09
• 公開（公告）號: CN201314819Y
• 公開（公告）日: 2009-09-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳立武
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02;G01D5/26
• 代理公司: 西安智邦專利商標(biāo)代理有限公司
• 代理人: 康 凱

【技術(shù)領(lǐng)域】

本實用新型涉及一種動鏡干涉儀，尤其涉及一種動鏡環(huán)形干涉儀。

【背景技術(shù)】

目前在光學(xué)干涉測量領(lǐng)域有許多經(jīng)典的動鏡干涉儀如麥克耳遜干涉儀、馬赫曾德干涉儀等得到廣泛的應(yīng)用，動鏡干涉儀具有光程差可調(diào)，利于控制等優(yōu)點。但是由于麥克耳遜干涉儀的動鏡對傾斜非常敏感，因此誤差要求極嚴(yán)，在制造和裝配中都會形成很大的困難。因此如何解決動鏡對傾斜敏感已成為一個有待解決的技術(shù)問題。

【實用新型內(nèi)容】

本實用新型涉及一種動鏡環(huán)形干涉儀，其解決了現(xiàn)有麥克耳遜干涉儀的動鏡對傾斜非常敏感的技術(shù)問題。

本實用新型的技術(shù)解決方案是：

一種動鏡環(huán)形干涉儀，包括第一透鏡1，分束鏡2，所述分束鏡2將從物方入射的光線分為兩路，所述兩路光線包括反射光線3和透射光線4，所述反射光線3反方向設(shè)有探測器5，所述第一透鏡1設(shè)置于分束鏡2與探測器5之間，其特殊之處在于：所述反射光線3光路上設(shè)置有雙面反射鏡6，所述反射光線3入射雙面反射鏡6的一面；所述透射光線4經(jīng)過至少3個具有反射能力的光學(xué)器件構(gòu)成的回路入射到雙面反射鏡6的另一面。

上述分束鏡2在從物方入射來的方向還設(shè)置有第二透鏡7。

上述雙面反射鏡6為移動式雙面反射鏡。

上述兩路光線中還包括光楔，有時光路準(zhǔn)心偏差時可以用于調(diào)整光路準(zhǔn)心。

上述具有反射能力的光學(xué)器件為反射鏡或棱鏡。

上述反射鏡或棱鏡為移動式反射鏡或棱鏡。

本實用新型的動鏡為雙面反射鏡，由于它兩面反射且反射面相互平行，因此具有對傾斜誤差不敏感的優(yōu)點，具有更好的環(huán)境適應(yīng)性，可用于更廣泛的干涉測量領(lǐng)域。

【附圖說明】

圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實施方式】

參見圖1，一種動鏡環(huán)形干涉儀，包括第一透鏡1，分束鏡2，所述分束鏡2將從物方入射的光線分為兩路，所述兩路光線包括反射光線3和透射光線4，所述反射光線3反方向設(shè)有探測器5，所述第一透鏡1設(shè)置于分束鏡2與探測器5之間，反射光線3光路上設(shè)置有雙面反射鏡6，所述反射光線3入射雙面反射鏡6的一面；所述透射光線4經(jīng)過至少3個反射鏡構(gòu)成的回路入射到雙面反射鏡6的另一面，3個反射鏡包括第一反射鏡8、第二反射鏡9以及第三反射鏡10，分束鏡2在從物方入射來的方向還設(shè)置有第二透鏡7，雙面反射鏡6為移動式雙面反射鏡，3個反射鏡也可為移動式反射鏡，反射鏡還可以由棱鏡替代。

光線路徑如圖1：光線從物方入射經(jīng)分束鏡2分束后形成兩路，第一路經(jīng)分束鏡2透射后，入射到第一反射鏡8，再第一反射鏡8依次經(jīng)第二反射鏡9、第三反射鏡10，最后到達(dá)雙面反射鏡6的一面，經(jīng)雙面反射鏡6反射后再依次經(jīng)第三反射鏡10、第二反射鏡9及第一反射鏡8入射到分束鏡2，經(jīng)分束鏡2反射到達(dá)探測器5，第二路經(jīng)分束鏡2反射入射到雙面反射鏡6的另二面，再原路反射回來入射到分束鏡2，經(jīng)分束鏡2透射到達(dá)探測器5。