[實用新型]一種噴淋頭

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200820220261.4
• 申請日: 2008-12-03
• 公開（公告）號: CN201292404Y
• 公開（公告）日: 2009-08-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孟凡榮;趙科新;郭東民;趙崇凌;王海濤;李重茂
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司
• 主分類號: C23C16/50
• 分類號: C23C16/50
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司
• 代理人: 周秀梅;許宗富

1、一種噴淋頭，該噴淋頭包括外屏蔽罩(1)、進(jìn)氣管(3)和法蘭(7)，外屏蔽罩(1)安裝在法蘭(7)外部，進(jìn)氣管(3)與混氣板組件(5)連接，混氣板組件(5)與法蘭(7)連接，混氣板組件(5)與法蘭(7)之間安裝絕緣物質(zhì)，其特征在于：進(jìn)氣管(3)的上端安裝真空角閥(2)，進(jìn)氣管(3)與混氣板組件(5)通過陶瓷管(4)連接，法蘭(7)的下部安裝勻氣盒組件(10)，勻氣盒組件(10)的兩端與混氣板組件(5)連接。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴淋頭，其特征在于：絕緣物質(zhì)為絕緣陶瓷(6)和石英玻璃板(8)，絕緣陶瓷(6)位于混氣板組件(5)的側(cè)面，石英玻璃板(8)位于法蘭(7)的底部。

3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴淋頭，其特征在于：勻氣盒組件(10)下方平行設(shè)置進(jìn)氣板(11)，進(jìn)氣板(11)的兩端與混氣板組件(5)連接。

4、根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴淋頭，其特征在于：勻氣盒組件(10)由兩塊平行放置的均氣板組成。

5、根據(jù)權(quán)利要求4所述的噴淋頭，其特征在于：在均氣板上有孔，兩塊均氣板上的孔均勻布置且孔位交錯。

6、根據(jù)權(quán)利要求3所述的噴淋頭，其特征在于：進(jìn)氣板(11)的上面具有孔。

7、根據(jù)權(quán)利要求6所述的噴淋頭，其特征在于：進(jìn)氣板(11)的上面的孔成蜂窩狀排列。

8、根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的噴淋頭，其特征在于：進(jìn)氣板(11)上的孔在面向工件的一側(cè)上窄下寬。

9、根據(jù)權(quán)利要求8所述的噴淋頭，其特征在于：進(jìn)氣板(11)上的孔為喇叭口形狀或圓臺狀。

10、根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴淋頭，其特征在于：勻氣盒組件(10)的外側(cè)安裝內(nèi)屏蔽罩(9)。