[實(shí)用新型]一種二等量塊接觸式激光干涉儀

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200820220008.9
• 申請(qǐng)日: 2008-11-28
• 公開（公告）號(hào): CN201306998Y
• 公開（公告）日: 2009-09-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉濤;姜國(guó)雁;楊玉潔;趙金淳;穆桂榮;單純利;王東;顧小華;劉偉偉;楊自本;王承鋼;汪德寶;朱小平;王劍鋒;陳立艷;吳堅(jiān)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 沈陽(yáng)黎明航空發(fā)動(dòng)機(jī)(集團(tuán))有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): G01B9/02
• 分類號(hào): G01B9/02
• 代理公司: 沈陽(yáng)東大專利代理有限公司
• 代理人: 朱光林

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種二等量塊的檢定設(shè)備，特別涉及一種二等量塊接觸式激光干涉儀。

背景技術(shù)

按照我國(guó)現(xiàn)行量塊標(biāo)準(zhǔn)和檢定規(guī)程，量塊按其長(zhǎng)度測(cè)量不確定度分為一、二、三、四、五等級(jí)，按國(guó)際建議，二等量塊長(zhǎng)度測(cè)量可以用光波波長(zhǎng)直接測(cè)量，也可以用一等量塊作標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行比較測(cè)量，但是目前我國(guó)還沒有開展一等量塊的檢定，只好采用激光干涉儀直接測(cè)量。而使用激光干涉儀也有二種方法，一種方法是用柯式干涉儀原理的非接觸式測(cè)量法，另一種是接觸式測(cè)量法。柯氏干涉儀是較早使用光波測(cè)量量塊的干涉儀器，是基于小數(shù)重合法基礎(chǔ)上的，由于小數(shù)重合法本身的特點(diǎn)，柯氏干涉儀測(cè)量量塊之前對(duì)被測(cè)量塊要進(jìn)行初測(cè)，而且需要量塊與平晶研合來進(jìn)行，操作者勞動(dòng)強(qiáng)度比較大，對(duì)操作者技術(shù)水平要求高，而普通的接觸式測(cè)量法采用被測(cè)量塊與標(biāo)準(zhǔn)二等量塊進(jìn)行比較的測(cè)量方法，由于手工操作對(duì)于二等量塊的測(cè)量精度低，誤差大，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是不需要與標(biāo)準(zhǔn)量塊進(jìn)行比較，直接測(cè)量、自動(dòng)采集、自動(dòng)反饋、自動(dòng)讀數(shù)、精度高、穩(wěn)定性好、柔性測(cè)頭接觸式定位的方式無需量塊與平晶研合來、操作簡(jiǎn)單。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型為了彌補(bǔ)以往二等量塊的檢定裝置存在的缺點(diǎn)，提供一種二等量塊接觸式激光干涉儀，來達(dá)到對(duì)二等量塊檢定精度高、自動(dòng)控制、操作簡(jiǎn)單、方便、穩(wěn)定性好的目的。

該裝置包括激光干涉系統(tǒng)、定位計(jì)數(shù)系統(tǒng)、環(huán)境參數(shù)測(cè)量系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)，其中激光干涉系統(tǒng)連接定位計(jì)數(shù)系統(tǒng)，定位計(jì)數(shù)系統(tǒng)和環(huán)境參數(shù)測(cè)量系統(tǒng)同時(shí)連接計(jì)算機(jī)。激光干涉系統(tǒng)包括He-Ne激光器、激光穩(wěn)頻器、第一轉(zhuǎn)向棱鏡、光欄、準(zhǔn)直光管、第二轉(zhuǎn)向棱鏡、移相分光鏡、參考鏡、轉(zhuǎn)向鏡、測(cè)量棱鏡、光電控制測(cè)力穩(wěn)定傳感器、測(cè)頭，He-Ne激光器連接激光穩(wěn)頻器，激光穩(wěn)頻器水平前方設(shè)有第一轉(zhuǎn)向棱鏡，第一轉(zhuǎn)向棱鏡豎直下方依次設(shè)有光欄、準(zhǔn)直光管、第二轉(zhuǎn)向棱鏡、移相分光鏡、參考鏡，第二轉(zhuǎn)向棱鏡左右水平分別設(shè)有兩個(gè)定位計(jì)數(shù)系統(tǒng)中的第一光電轉(zhuǎn)換器，移相分光鏡水平一側(cè)設(shè)有轉(zhuǎn)向鏡，轉(zhuǎn)向鏡豎直下方依次設(shè)有定位計(jì)數(shù)系統(tǒng)中的定位控制器、測(cè)量棱鏡、光電控制測(cè)力穩(wěn)定傳感器和測(cè)頭，與移相分光鏡設(shè)有轉(zhuǎn)向鏡相對(duì)的一面水平設(shè)有定位計(jì)數(shù)系統(tǒng)中的第二光電轉(zhuǎn)換器。光電控制測(cè)力穩(wěn)定傳感器，包括平行簧片、光擋、光電管、測(cè)桿、光電管架，光電控制測(cè)力穩(wěn)定傳感器內(nèi)部由下往上依次固定平行簧片、光擋、光電管，其中，平行簧片和光擋固定在測(cè)桿上，測(cè)桿用于連接測(cè)量棱鏡和測(cè)頭，光電管固定在光電管架上，光電管架固定在光電控制測(cè)力穩(wěn)定傳感器內(nèi)壁上。定位計(jì)數(shù)系統(tǒng)中光電轉(zhuǎn)換器連接相位調(diào)整模塊，相位調(diào)整模塊的另一側(cè)分別連接干涉條紋整數(shù)計(jì)數(shù)板和干涉條紋小數(shù)計(jì)數(shù)板，干涉條紋整數(shù)計(jì)數(shù)板和干涉條紋小數(shù)計(jì)數(shù)板的另一端連接計(jì)算機(jī)，計(jì)算機(jī)的輸出端分別連接驅(qū)動(dòng)電機(jī)和定位控制器，驅(qū)動(dòng)電機(jī)和定位控制器的另一端連接激光干涉系統(tǒng)。環(huán)境參數(shù)測(cè)量系統(tǒng)中溫度傳感器、濕度傳感器和氣壓傳感器分別連接計(jì)算機(jī)。

該實(shí)用新型采用的計(jì)算機(jī)軟件是配合量塊激光干涉儀進(jìn)行二等標(biāo)準(zhǔn)量塊測(cè)量為目的進(jìn)行設(shè)計(jì)編寫的，界面直觀，操作簡(jiǎn)單，是以Windows98為工作平臺(tái)，采用Microsoft?Visual?Studio開發(fā)包套件，綜合應(yīng)用了ActiveX、OCX和動(dòng)態(tài)鏈接庫(kù)技術(shù)，完成對(duì)系統(tǒng)中激光干涉儀數(shù)據(jù)信號(hào)的采集控制、接觸式測(cè)量頭自動(dòng)定位的控制、環(huán)境條件參數(shù)的自動(dòng)采集和補(bǔ)償控制、測(cè)量結(jié)果數(shù)據(jù)的處理顯示和打印輸出，實(shí)現(xiàn)了二等標(biāo)準(zhǔn)量塊的直接自動(dòng)測(cè)量。