[實用新型]一種大抽速型高真空干式真空泵

無效

• 申請號: 200820218784.5
• 申請日: 2008-10-31
• 公開（公告）號: CN201292944Y
• 公開（公告）日: 2009-08-19
• 發明（設計）人: 劉坤;李濤;常學森;巴德純
• 申請（專利權）人: 東北大學;成都南光機器有限公司
• 主分類號: F04C25/00
• 分類號: F04C25/00;F04C23/00
• 代理公司: 沈陽東大專利代理有限公司
• 代理人: 李運萍

技術領域

本實用新型涉及真空技術領域，特別涉及一種大抽速型高真空干式真空泵。

背景技術

近年來，人們已研制了多種類型的干泵，廣泛用于半導體工業、分析儀器、電子工業和化工行業等真空應用的各個領域。干泵或干泵機組維護簡單、清潔無油，經常是真空獲得設備中首選的主泵。比如，半導體行業中的真空室中，一般需要達到10^-3Pa或者更高的真空度，這時就需要為它們配置高真空機組。

一般說來，為了獲得清潔高真空，人們通常會選用高真空泵，如分子泵、擴散泵+冷阱，但這些高真空泵只能夠工作在中真空或高真空區域，必須需要額外的真空泵在出口保持一定的真空度，不能夠直排大氣，否則會造成分子泵電機燒毀、轉子葉片打碎或者擴散泵油氧化等事故。

一些能夠直排大氣的獲得清潔真空的真空泵，如爪型泵、羅茨干泵、渦旋泵、螺桿泵、活塞泵、膜片泵等，一般極限真空只能達到0.1～100Pa。如果只用一臺這樣的真空泵，不能達到高真空的要求。

為了獲得清潔高真空，需要串聯多臺工作在不同壓力區域的真空泵構成機組，來完成抽氣任務。典型的高真空機組，如“分子泵+爪型泵”或“分子泵+螺桿泵”等等，為縮短抽真空時間，在主泵和前級之間還會加上羅茨泵等增壓泵。采用高真空機組，不僅需考慮各種真空泵的工作壓力范圍、增加配置系統的難度，而且系統中的多臺真空泵、連接管道、閥門、真空計等輔助元件以及它們的控制單元使得這套系統成本很高。如典型的高真空系統至少額外需要三個閥門和一個旁通管路。另外，不能實現較大抽速，影響了效率。

實用新型內容

為了解決以上裝置中不能實現較大抽速、效率低的缺陷，本實用新型提供一種大抽速型高真空干式真空泵。

本實用新型的技術方案是這樣實現的：一種大抽速型高真空干式真空泵，包括殼體、底座、轉子和定子，轉子固定在主軸上，轉子由渦輪級轉子和轉子體組成，渦輪級轉子設置在轉子體上部，渦輪級轉子由葉輪組成，轉子體包括牽引分子級轉子和旋渦級轉子，旋渦級轉子位于牽引分子級轉子的外圓周上，渦輪級轉子之間設有渦輪級定子葉片，牽引分子級轉子之間設有牽引分子級定子，旋渦級轉子外側設有旋渦級定子。

所述的渦輪級轉子由多級葉輪組成，每一級葉輪由沿著圓周方向排列的多個扭制或銑制的葉片組成，葉片相互平行，且與水平面成10-50°夾角，通過渦輪級轉子與定子的相互配合實現抽氣功能。

所述的轉子體外圓周上設有若干個沿軸向逐漸增大的凸環，凸環與凸環之間形成風流槽，凸環插入到定子套筒的旋渦槽內，風流槽與排氣口相通，凸環上設徑向葉片，氣體經過徑向葉片時，在徑向葉片和徑向葉片之間形成氣體旋渦。

所述的轉子體為一體或分體，是說牽引分子級轉子和旋渦級轉子為一體或分體。一體指的是牽引分子級轉子和旋渦級轉子為一個整體，分體指的是牽引分子級轉子和旋渦級轉子之間分開，通過螺釘、鉚釘等連接在一起。牽引分子級轉子由套筒組成，每兩個套筒壁內側，設有與轉子套筒壁相互插置的牽引套筒，牽引套筒內外壁上設有螺旋肋筋，螺旋肋筋間構成牽引風流槽，其槽型是漸開線或阿基米德螺線型。

所述的徑向葉片是矩形或弓形。

本實用新型的有益效果：通過轉子由渦輪級轉子、牽引分子級轉子和旋渦級轉子組成，渦輪級轉子由多級葉輪組成，渦輪級轉子與定子配合，將氣體排出，從而加大抽氣效果，它匯集了拖動氣體分子運動，渦輪分子和旋渦加速的原理，達到具有大抽速、高真空能力和直排大氣性能的干式真空泵，該泵具有效率高、體積小、造價低的優點。

附圖說明

圖1為本實用新型一種實施例的總體結構示意圖；

圖2為本實用新型一種實施例的轉子的結構示意圖；

圖3為本實用新型一種實施例的旋渦級定子牽引分子級定子連接圖；

圖4為定子套筒結構示意圖；

圖中：1吸氣口，2吸氣口法蘭，3渦輪級轉子，4渦輪級定子葉片，5主軸，6隔環，7泵殼，8上軸承，9牽引分子級定子，10電機，11轉子體，12定子套筒，13水冷管，14排氣口法蘭，15泵座，16油池，17旋渦級定子。

具體實施方式

結合附圖對本實用新型做進一步描述：