[實用新型]一種增強排氣型復合分子泵

無效

• 申請號: 200820218780.7
• 申請日: 2008-10-31
• 公開（公告）號: CN201292960Y
• 公開（公告）日: 2009-08-19
• 發明（設計）人: 劉坤;李濤;常學森;巴德純
• 申請（專利權）人: 東北大學;成都南光機器有限公司
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D29/32
• 代理公司: 沈陽東大專利代理有限公司
• 代理人: 李運萍

1.一種增強排氣型復合分子泵，包括泵殼、泵座、光軸、轉子體和定子，其特征是所述的轉子體由渦輪級轉子和螺旋槽牽引分子級轉子組成，所述的光軸與轉子體連接，轉子體中渦輪級轉子位于螺旋槽牽引分子級轉子上方，螺旋槽牽引分子級轉子下方連有增強排氣級轉子，增強排氣級轉子為光板；渦輪級轉子之間設有渦輪級定子葉片，螺旋槽牽引分子級轉子之間設有螺旋槽牽引分子級定子，增強排氣級轉子兩側設有增強排氣級定子。

2.根據權利要求1所述的一種增強排氣型復合分子泵，其特征在于所述的渦輪級轉子至少是一級，渦輪級轉子沿軸向排列。

3.根據權利要求1所述的一種增強排氣型復合分子泵，其特征在于所述的螺旋槽牽引分子級轉子至少是一級，螺旋槽牽引分子級轉子由內向外沿徑向排列。

4.根據權利要求1所述的一種增強排氣型復合分子泵，其特征在于所述的轉子體為一體或者分體，所述的渦輪級轉子與螺旋槽牽引分子級轉子連為一體或者分體。

5.根據權利要求1所述的一種增強排氣型復合分子泵，其特征在于所述的增強排氣級轉子是一級或多級串聯起來的光板，增強排氣級定子是螺旋形牽引風流槽，其槽型是漸開線或阿基米德螺線形式。