[實(shí)用新型]一種超高真空表面分析系統(tǒng)中的電子束加熱器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200820218629.3
• 申請(qǐng)日: 2008-10-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201269842Y
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-07-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬騰;譚大力;傅強(qiáng);王珍;包信和
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院大連化學(xué)物理研究所
• 主分類(lèi)號(hào): G01N1/44
• 分類(lèi)號(hào): G01N1/44
• 代理公司: 沈陽(yáng)科苑專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司
• 代理人: 馬 馳

1.一種超高真空表面分析系統(tǒng)中的電子束加熱器，其特征在于：包括樣品臺(tái)、電子槍燈絲、電子屏蔽罩、控制電源；

所述樣品臺(tái)下方設(shè)置有上端開(kāi)口的環(huán)形的金屬電子屏蔽罩，電子屏蔽罩的下方設(shè)置有樣品臺(tái)支撐桿，樣品臺(tái)支撐桿的下方設(shè)置有真空法蘭；

于所述環(huán)形的電子屏蔽罩內(nèi)設(shè)置有電子槍燈絲，電子槍燈絲的四周設(shè)置有金屬電子槍燈絲罩，電子槍燈絲通過(guò)導(dǎo)線與外部控制電源上的燈絲接線端子相連；

在電子槍燈絲上方的電子槍燈絲罩和樣品臺(tái)上分別開(kāi)設(shè)有孔，電子槍燈絲罩上的開(kāi)孔與樣品臺(tái)上的開(kāi)孔相對(duì)應(yīng)。

2.按照權(quán)利要求1所述的電子束加熱器，其特征在于：在所述的電子槍燈絲罩上設(shè)置有電子槍燈絲座，電子槍燈絲固定在電子槍燈絲座上，電子槍燈絲通過(guò)導(dǎo)線與控制電源相連。

3.按照權(quán)利要求1所述的電子束加熱器，其特征在于：在所述樣品臺(tái)開(kāi)孔處的外側(cè)設(shè)置有用于測(cè)量樣品臺(tái)溫度的熱電偶。

4.按照權(quán)利要求1所述的電子束加熱器，其特征在于：在所述樣品臺(tái)的上方，于其開(kāi)孔處的二邊分別設(shè)置有用于固定樣品的直角形卡扣，卡扣指向開(kāi)孔方向，形成樣品滑道。

5.按照權(quán)利要求1所述的電子束加熱器，其特征在于：所述樣品臺(tái)為梯形的平臺(tái)，兩側(cè)設(shè)置有用于連接電子屏蔽罩的螺孔；

所述電子屏蔽罩兼有屏蔽電子槍雜散電子和連接樣品臺(tái)的作用；樣品臺(tái)和電子屏蔽罩及電子屏蔽罩和樣品臺(tái)支撐桿之間通過(guò)鉬螺栓固接；在樣品臺(tái)與電子屏蔽罩及電子屏蔽罩與樣品臺(tái)支撐桿之間設(shè)置有絕緣陶瓷片。

6.按照權(quán)利要求1所述的電子束加熱器，其特征在于：電子槍燈絲罩通過(guò)導(dǎo)線與控制電源上的高壓端子相連，其可供施加高壓來(lái)提高電子束加熱器的加熱效率。

7.按照權(quán)利要求1所述的電子束加熱器，其特征在于：在所述的電子槍燈絲與外部控制電源上相連的電子槍燈絲導(dǎo)線上設(shè)置有連接接頭，連接接頭處于電子槍燈絲與真空法蘭之間，通過(guò)連接接頭可對(duì)電子槍燈絲與樣品臺(tái)之間的距離進(jìn)行微調(diào)。