[實用新型]一種掃描電鏡原位觀察的全柔性三平移混聯(lián)微動裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200820217555.1
• 申請日: 2008-12-02
• 公開（公告）號: CN201373852Y
• 公開（公告）日: 2009-12-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊啟志;楊海波;馬履中;尹小琴
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇大學(xué)
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/84;G01N3/00;G01N19/00
• 代理公司: 南京知識律師事務(wù)所
• 代理人: 汪旭東

1、一種掃描電鏡原位觀察的全柔性三平移混聯(lián)微動裝置，包括底座、樣品臺、顯微壓頭支架以及壓電陶瓷微驅(qū)動裝置，顯微壓頭支架位于樣品臺上方，其特征在于所述的全柔性三平移混聯(lián)微動裝置由二自由度的全柔性平面并聯(lián)機構(gòu)與單自由度的全柔性機構(gòu)串聯(lián)一起組成混聯(lián)機構(gòu)，二自由度的全柔性平面并聯(lián)機構(gòu)為x、y向微動平移結(jié)構(gòu)，單自由度的全柔性機構(gòu)為z向微動平移結(jié)構(gòu)。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掃描電鏡原位觀察的全柔性三平移混聯(lián)微動裝置，其特征在于所述的x、y向微動平移結(jié)構(gòu)由x、y向底座、樣品臺、壓電陶瓷微驅(qū)動器以及柔性桿組成，四個柔性桿連接樣品臺與x、y向底座，在樣品臺與x、y向底座之間設(shè)有兩個可以分別x、y向微動的壓電陶瓷微驅(qū)動器；所述的z向微動平移結(jié)構(gòu)由z向底座、動平臺、壓電陶瓷微驅(qū)動器以及具有柔性鉸鏈的柔性支鏈組成，四個具有柔性鉸鏈的柔性支鏈連接動平臺與z向底座，在動平臺與z向底座之間設(shè)有一個可以z向微動的壓電陶瓷微驅(qū)動器；x、y向微動平移結(jié)構(gòu)的x、y向底座與z向微動平移結(jié)構(gòu)的動平臺剛性連接。