[實用新型]一種用于減薄微壓傳感器彈性膜片的激光裝置

有效

• 申請號: 200820210983.1
• 申請日: 2008-12-17
• 公開（公告）號: CN201320662Y
• 公開（公告）日: 2009-10-07
• 發明（設計）人: 顏志紅;謝鋒;陳云鋒
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
• 主分類號: B23K26/36
• 分類號: B23K26/36;B23K26/02;B23K26/08;B23K26/42
• 代理公司: 長沙正奇專利事務所有限責任公司
• 代理人: 馬 強

1、一種用于減薄微壓傳感器彈性膜片的激光裝置，其特征是包 括激光加工機(1)、微動臺(5)和位于微動臺(5)上的水冷架(4)， 所述水冷架(4)設有一與彈性膜片(9)相應大小的卡槽(3)；所述 激光加工機(1)的激光發生器(11)對準所述卡槽(3)，以使其發 射的激光束(8)垂直于卡槽(3)位置；激光加工機(1)上設置有 控制激光發生器(11)移動的激光偏轉器(2)。

2、根據權利要求1所述用于減薄微壓傳感器彈性膜片的激光裝 置，其特征是所述水冷架(4)包括水冷架主體(10)、進水管路(6) 和出水管路(7)。

3、根據權利要求1或2所述用于減薄微壓傳感器彈性膜片的激光 裝置，其特征是所述激光發生器發出的激光頻率為10～20kHz。