[實(shí)用新型]靜電卡盤(pán)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200820208758.4
• 申請(qǐng)日: 2008-12-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201383496Y
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-01-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 羅伯特·賴安;倪圖強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/687
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/687
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 李 麗

1.一種靜電卡盤(pán)，包括多個(gè)用于承載晶圓的凸臺(tái)和控溫氣體入口，其特征在于：所述凸臺(tái)承載面的形狀為多邊形，所述控溫氣體入口與凸臺(tái)之間形成的控溫氣體通道連通。

2.如權(quán)利要求1所述的靜電卡盤(pán)，其特征在于：所述的多邊形為正多邊形。

3.如權(quán)利要求1所述的靜電卡盤(pán)，其特征在于：所述凸臺(tái)的間距相同。

4.如權(quán)利要求1所述的靜電卡盤(pán)，其特征在于：所述的多邊形為正六邊形或正八邊形。

5.如權(quán)利要求1所述的靜電卡盤(pán)，其特征在于：所述凸臺(tái)承載面的形狀包括兩種以上的正多邊形。

6.如權(quán)利要求1所述的靜電卡盤(pán)，其特征在于：所述凸臺(tái)在軸向上的高度為10μm至200μm。

7.如權(quán)利要求1所述的靜電卡盤(pán)，其特征在于：還包括密封圈，所述密封圈部分或全部包圍所述凸臺(tái)。

8.如權(quán)利要求1所述的靜電卡盤(pán)，其特征在于：在所述靜電卡盤(pán)設(shè)有凸臺(tái)的表面上還設(shè)有控溫氣體分布槽，所述控溫氣體分布槽與所述控溫氣體入口連通。

9.如權(quán)利要求8所述的靜電卡盤(pán)，其特征在于：所述控溫氣體分布槽的寬度為0.4mm至2mm，控溫氣體分布槽的深度為0.1mm至0.5mm。

10.一種靜電卡盤(pán)，包括多個(gè)用于承載晶圓的凸臺(tái)和控溫氣體入口，其特征在于：所述凸臺(tái)承載面的邊界與相鄰?fù)古_(tái)的邊界相匹配且凸臺(tái)之間形成寬度相同的通道，使所述控溫氣體入口與凸臺(tái)之間形成的控溫氣體通道連通。