[實用新型]一種直排式無油高真空泵

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200820205269.3
• 申請日: 2008-12-12
• 公開（公告）號: CN201335027Y
• 公開（公告）日: 2009-10-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王建明;湯立云;孔令鎮(zhèn);孔德航;鄭春花;王璐;唐忠輝
• 申請（專利權(quán)）人: 廣東風(fēng)華高新科技股份有限公司
• 主分類號: F04D17/10
• 分類號: F04D17/10;F04D29/44
• 代理公司: 廣州粵高專利商標(biāo)代理有限公司
• 代理人: 羅曉林

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種抽真空的設(shè)備，具體地講，本實用新型涉及一種直排式無油高真空泵。

背景技術(shù)

通常，潔凈高真空都是通過高真空泵獲得，比如分子泵、擴(kuò)散泵等，由于這些泵本身只能工作在中高真空區(qū)域，所以在其出口處必須保持一定的真空度才行。也就是說，這些泵不能直排大氣。而目前能夠直排大氣的泵又到不了高真空，因此為了獲得潔凈的高真空往往都需要將工作在不同壓力區(qū)域的數(shù)臺泵通過閥門、管道、真空計以及旁路等構(gòu)成一個復(fù)雜的真空機(jī)組來實現(xiàn)。該機(jī)組構(gòu)成復(fù)雜、操作過程繁瑣、易出錯、占地大、能耗高，而且維護(hù)工作量大，運行成本高。

中國專利CN2667203提供了一種多級羅茨式無油真空泵，該泵由主從動軸、主從動轉(zhuǎn)子、兩端側(cè)蓋、泵體、級間隔板、主從動齒輪構(gòu)成，其中泵體采用兩片分體結(jié)構(gòu)，兩片泵體中有各自的水冷夾層，泵體隨轉(zhuǎn)子級數(shù)不同分有多個相對獨立的泵腔，兩極泵腔之間有兩片分體式的級間隔板分開，并通過級間氣流通道相連，轉(zhuǎn)子端面形成采用三葉形。本實用新型仍存在機(jī)組構(gòu)成復(fù)雜、操作過程繁瑣、能耗大的缺點。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型解決真空泵直排大氣后真空度低、機(jī)械動力復(fù)雜的問題。

本實用新型解決以上技術(shù)問題是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的：一種直排大氣無油高真空泵，依次由電機(jī)和泵體組成，電機(jī)外殼與泵體外殼連接形成一體，泵體外殼上有吸氣端和排氣端，所述泵體中段設(shè)有與外殼成一體的同心柱壁，所述泵體中段的殼壁與同心柱壁的壁上設(shè)有多級與吸氣方向一致的導(dǎo)氣螺紋階梯壁。所述泵體中段殼壁與同心柱壁之間設(shè)有隔離環(huán)，所述隔離環(huán)底端設(shè)有多級導(dǎo)槽，導(dǎo)槽逐級減小，最小的導(dǎo)槽與外殼排氣口相連。所述同心柱壁的中空位置設(shè)有與電機(jī)主軸聯(lián)成一體的離心槳葉，離心槳葉的底端與隔離環(huán)的底端相連。離心槳葉和隔離環(huán)統(tǒng)稱為抽氣旋轉(zhuǎn)體，電機(jī)主軸帶動抽氣旋轉(zhuǎn)體旋轉(zhuǎn)，帶動離心漿葉、隔離環(huán)高速旋轉(zhuǎn)，離心漿葉吸入、牽引氣體進(jìn)入隔離環(huán)，為實現(xiàn)氣體充分單向吸入隔離環(huán)，泵體中段的殼壁與同心柱壁的壁上設(shè)有多級與吸氣方向一致的導(dǎo)氣螺紋階梯壁，實現(xiàn)氣體只向一個方向吸進(jìn)，防止氣體倒逆流出。所述隔離環(huán)末端設(shè)有多級導(dǎo)槽，導(dǎo)槽逐級減小，最小的導(dǎo)槽與外殼排氣口相連，氣體吸入到隔離環(huán)末端時，順著多級導(dǎo)槽將氣體從排氣口排出，由于最小的導(dǎo)槽與外殼排氣口相連，氣體不會從外界進(jìn)入倒數(shù)第二個導(dǎo)槽，從而實現(xiàn)氣體不會從外界進(jìn)入真空泵，即通過管道串連，中間不設(shè)閥門的一體化結(jié)構(gòu)，完成整個吸氣、牽引，并壓縮空氣，形成高真空的過程。

進(jìn)一步：在上述直排式無油高真空泵中，所述的同心柱壁有2圈，相應(yīng)的隔離環(huán)分為外環(huán)和內(nèi)環(huán)，分別嵌入柱壁與柱壁之間的空位，增加氣體在隔離環(huán)中的行程，使氣體充分吸入隔離環(huán)。所述的螺紋階梯壁是多頭矩形、梯形或者三角形的螺旋臺階。所述的螺紋階梯壁的臺階數(shù)量不少于3條，所述的臺階高度是1～10mm，優(yōu)選高度是1～8mm。所述的螺紋階梯壁的螺紋角度是10～80度。所述的吸氣端設(shè)有進(jìn)氣口和過濾裝置，避免除空氣以外的雜質(zhì)被吸入真空泵而影響真空泵的使用性能和使用壽命。所述離心槳葉的槳葉數(shù)不少于2片，加大了氣體吸隔離環(huán)的力量。所述排氣端在靠近電機(jī)的位置還設(shè)有清洗管道和冷卻裝置，方便清潔泵體和預(yù)防電機(jī)過熱，延長無油高真空泵的使用壽命。所述的真空泵可以是立式、臥式，液體潤滑式或固體潤滑式。

本實用新型工作時，用一臺電機(jī)驅(qū)動，當(dāng)電機(jī)高速旋轉(zhuǎn)的時候，從進(jìn)入端處進(jìn)來的空氣，通過離心槳葉的攪動，在隔離環(huán)的導(dǎo)向和牽引作用下，逐漸被擠壓出去，能將大氣直接出氣，使得被抽容器達(dá)到≤10^-4Pa的高真空狀態(tài)。該真空泵抽氣速率是1L/S～2000L/S，轉(zhuǎn)速是8000rpm～40000rpm。該直排式無油真空泵節(jié)約了能耗，設(shè)備占地面積少、降低了故障率和維修率，提高了系統(tǒng)的可靠性并可排除特定的腐蝕性氣體。

附圖說明

圖1是本實用新型實施例所述的直排式無油高真空泵的半剖結(jié)構(gòu)示意圖。其中1同心柱壁、2螺紋階梯壁、3隔離環(huán)、4導(dǎo)槽、5排氣口、6電機(jī)主軸、7離心槳葉、8進(jìn)氣口、9過濾裝置、10清洗管道、11冷卻裝置。

具體實施方式

為了便于本領(lǐng)域技術(shù)人員的理解，下面將結(jié)合具體實施例及附圖1對本實用新型結(jié)構(gòu)原理作進(jìn)一步詳細(xì)描述：